: "fab术语详解.pdf" 集成电路产业的后端支撑关键在于工艺厂,即Fab。这份文档详细解析了Fab内部常见的专业术语,帮助读者快速理解Fab中的各种工艺流程和设备。以下是一些核心概念的详细说明: 1. **Active Area(主动区)**:主动区是指在半导体制造过程中,用来构建晶体管的区域。它是由氮化硅光罩经过局部场氧化后形成。由于鸟嘴效应(Bird’s Beak),实际的主动区面积会比氮化硅光罩定义的区域小,例如在0.6μm的场区氧化中,鸟嘴效应可能导致主动区减少0.5μm。 2. **ACTONE(丙酮)**:丙酮是一种常见的有机溶剂,用于清洗和擦拭黄光室内的正光阻。它具有刺激性气味,对神经系统有一定麻醉性,长期接触可能导致皮肤炎症和呼吸道刺激。在Fab中,丙酮的允许浓度为1000ppm。 3. **ADI(显影后检查)**:ADI是指在显影步骤之后进行的检查,目的是检测光刻过程中的问题,如覆盖不良或显影不充分,并及时修正,以保持产品的良率和质量。检查通常通过目视或显微镜进行。 4. **AEI(蚀刻后检查)**:AEI是在蚀刻后进行的全面或抽样检查,旨在提高产品良率,确保一致性和重复性,以及监控制程能力。不良品通常不轻易修改,因为重新氧化或再氧化可能影响组件性能,增加缺陷密度和成本。 5. **AIR SHOWER(空气洗尘室)**:在进入洁净室之前,工作人员需经过空气喷洗机,以清除无尘衣上的尘埃,保持洁净环境。 6. **ALIGNMENT(对准)**:对准是利用芯片上的对准标记和光罩上的标记进行精确对位,确保在IC制造中多层图形的准确重叠。对准方法包括人眼对准和机械式对准。 7. **ALLOY/SINTER(熔合)**:熔合过程是为了实现铝与硅基之间的欧姆接触,降低接触电阻,提高电路性能。 8. **AL/SI 铝/硅 靶**:铝/硅靶是金属溅镀时使用的材料,其原子被离子撞击后沉积在芯片表面,作为组件与外部电路的连接。 9. **AL/SI/CU 铝/硅/铜**:这是一种含铜、硅和铝的金属靶材,用于溅镀过程,以防止金属电荷迁移并优化性能。 10. **ALUMINUM(铝)**:铝是常用的金属溅镀材料,用于形成芯片与外部导线间的连接。 11. **ANGLE LAPPING(角度研磨)**:角度研磨是测量结深的预处理步骤,通常采用光干涉法。随着VLSI组件尺寸的减小,该方法的精度逐渐无法满足需求,现在更多采用扩散电阻探针(SRP)等更精确的方法。 12. **ANGSTRON(埃)**:埃是长度单位,常用于描述IC制程中的薄膜厚度,如二氧化硅、多晶硅或氮化硅等。 13. **APCVD(常压化学气相沉积)**:APCVD是一种在大气压下进行的化学气相沉积技术,用于在半导体表面沉积各种薄膜,如氧化硅、氮化硅等。 这些术语构成了集成电路制造中不可或缺的一部分,理解和掌握这些知识对于理解和操作Fab的工艺流程至关重要。
2025-12-19 16:17:21 404KB 集成电路
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CMOS_process_flow,算是讲的比较细致的。从衬底开始讲起,到metal2层的一个反相器制作的每道工艺步骤。
2023-02-27 21:28:53 868KB CMOS Process flow
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半导体集成电路工厂使用的专用术语,英文缩写及全称解释,对应部门使用情况,以及使用范围和环境。让行业初学者有比较好的引导作用。更快适应FAB环境和对应岗位角色。
2023-02-27 21:25:56 105KB FAB 术语 大全
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汽车行业FAB销售技巧.ppt
2022-12-08 19:20:17 1.64MB
Windows防火墙管理工具,V1.9,2022年11月版本
2022-11-09 16:04:27 1.22MB Firewall
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1、微信小程序,2、悬浮按钮,3、拓展出其他的按钮。1、微信小程序,2、悬浮按钮,3、拓展出其他的按钮
2022-07-29 11:15:06 7KB 悬浮按钮
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【MAUI】一步一步实现“悬浮操作按钮”(FAB,Floating Action Button).doc
2022-07-09 14:07:00 5.06MB 技术资料
《跨境电子商务客户服务》 运用FAB原则,熟悉跨境店铺和产品 目录 情景描述 淄博敦煌网信息科技有限公司与德国的ABC. GLOBAL TRADING COMPANY 正在进行跨境业务往来,李晓以及团队成员需要熟练运用FAB原则,做好对跨境电商店铺以及产品的认知。 任务导入 任务操作 对任务导入问题进行解答 在进行售前客户服务的过程中,跨境电子商务客户服务人员要给客户专业、值得信赖的感觉,需要运用FAB原则,带来业绩上的实际提升。 F:Features A:Advantages B:Benefits 跨境电商客服人员可以按照这样的顺序来向客户介绍产品,抓住本质和关键,整理出相应的诉求点,再向客户进行说服。 知识点讲解 一、FAB原则效果—站在客户角度思考 FAB原则达到的效果就是让客户相信这里的商品和服务是最好的,从而促进成交,跨境电商客服人员需要做到以下3点: 1.站在客户的角度思考: 思考客户购买前可能存在的顾虑、问题;分析客户可能不进行购买的直接原因;利用数据、图片等实际情况打消客户的顾虑。 知识点讲解 2.阐述商品优势: 客户最关心的莫过于商品的质量、价格、生产技术水平、售后服
2022-05-20 14:04:28 9.68MB 文档资料 电子商务
半导体FAB常用单词知识.pdf
2022-02-05 09:11:41 66KB 网络文档
用更简易的方式配置防火墙,将可选的软件禁网。防火墙应用程序拦截器使过程非常简单!只需将要阻止的应用程序拖放到FAB窗口中,或浏览硬盘找到它。
2021-12-28 18:06:27 1.14MB 网络 网络传输
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