在本文中,提出了一种基于玻璃粉技术的在17–4 PH不锈钢(SS)膜片上结合应变计的钢制压力传感器。 通过使用外延沉积技术在单晶硅晶片上生长外延硅层,可以获得具有均匀电阻的应变计。 无机玻璃粉用作应变计和17–4 PH SS膜片之间的粘结材料。 我们的结果表明,在125°C的高温下,传感器的输出性能几乎与室温下的性能相同,这表明玻璃粉粘结是一种很好的方法,并且可能会导致硅的高温适用性显着提高。应变计传感器。 最后, 比较了固化的有机粘合剂和烧制的玻璃粉的微观结构。 可以得出结论,固化的有机粘合剂的缺陷会使传感器的滞后性和重复性误差恶化。
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