由Volker Kempe所著的《Inertial MEMS Principles and Practice》的中英文版PDF文档。中文版名为《惯性MEMS器件原理与实践》。
中文版为扫描版，文字还算清晰；英文版为高清版，文字可拷。欢迎感兴趣的朋友下载。
2021-03-25 15:23:17
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