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MICROSYSTEM DESIGN - Stephen D.
Senturia
经典微制造教科书,讲解了微机械电子系统的很多内容,包括机械结构和微流体。
2023-04-18 10:30:56
19.56MB
MEMS
微制造
教科书
1
Microsystem design
Senturia
, Stephen D.著作,UC berkely MEMS课程的教材,清晰版本
2019-12-21 21:00:50
19.45MB
Senturia
Stephen
D.著作
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