经典微制造教科书,讲解了微机械电子系统的很多内容,包括机械结构和微流体。
2023-04-18 10:30:56 19.56MB MEMS 微制造 教科书
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Senturia, Stephen D.著作,UC berkely MEMS课程的教材,清晰版本
2019-12-21 21:00:50 19.45MB Senturia Stephen D.著作
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