将众多SEMI协议集合到一个PDF文件里，包含： 主要包含标准： E4 - SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1: 消息传输基础，侧重于串口点对点通信，是底层通信协议。 E5 - SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2: 定义消息内容，包括设备状态监控、控制指令、物料与配方管理及异常处理。 E30 - GENERIC MODEL FOR...: 建立了设备通讯与控制的通用模型，是理解复杂制造装备通讯的基础。 E37 - HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES: 通过TCP/IP实现高速通讯，替代E4标准，适合现代网络环境。 E40 - Standard for Processing Management: 规定特定加工处理的管理标准，优化工艺流程。 E116 - Equipment Performance Tracking: 跟踪并分析设备性能，助力设备健康管理与故障诊断。 E84 - Specification For Enhanced...: 描述晶圆在AMHS中的高速传送标准，以及并行I/O接口规范，对构建无人工厂至关重要。 E87 - Specification For Carrier Management (CMS): 管理载具进出设备的过程，保证作业流程的顺畅与识别准确性。 E94 - Specification For Control Job Management: 进程控制标准，确保作业指令的有效执行。 E39 - Object Services Standard: 强调数据结构定义，为通用对象提供读/写服务，促进软件层面的互操作性。

​发布时间​：2004年，作为SECS-II标准的核心版本沿用至今。 ​扩展功能​： 新增对复杂数据结构（如晶圆映射、工艺管理）的支持。 细化流（Stream）与函数（Function）的定义，覆盖16个流（Stream 0至Stream 17），例如Stream 16用于工艺步骤协调。 ​改进点​： 明确事务超时机制（如T1-T4超时）和错误恢复逻辑 内容概要：SEMI E5-1104定义了半导体设备通信标准第2部分(SECS-II)，该标准由全球信息与控制委员会批准，旨在为智能设备和主机之间的消息交换提供详细的解释规则。SECS-II不仅与SEMI设备通信标准E4(SECS-I)完全兼容，还支持多种消息传输协议。它定义了消息的结构、流和函数、事务和对话协议、数据结构等，并详细规定了18个不同流的消息用途，涵盖了设备状态、控制和诊断、材料状态、异常处理、数据收集、过程程序管理等多个方面。此外，SECS-II还涉及了计量单位的定义，并预留了一些流和功能代码供用户自定义。值得注意的是，SECS-II并不解决与使用相关的安全问题，用户需自行建立适当的安全措施。 适用人群：从事半导体制造设备与控制系统开发、维护的技术人员及工程师；参与半导体生产线自动化集成的项目管理人员。 使用场景及目标：①确保智能设备与主机之间的高效、可靠通信；②支持IC制造过程中常见的活动，如控制程序传输、物料移动信息、测量数据汇总等；③为用户提供灵活的消息定义机制，以适应特殊需求；④帮助开发者理解如何在设备和主机端实现SECS-II标准，从而简化设备集成过程。 其他说明：SEMI E5-1104特别强调了标准的实施可能涉及专利问题，提醒用户自行评估潜在的法律风险。同时，建议用户参考完整的SEMI设备通信标准文档，以获得更深入的理解和技术指导。

半导体设备标准 ,基于SEMI标准

SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT

符合最新2020的SEMI标准规范。 SECS模拟器Simulator，与E5,E37的程序设备无接缝连接，并且和任何其他支持secs的设备或EAP稳定连接。 使用可视化SML语言编辑通讯内容。

− 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE TRANSFER》(E4) − 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT》(E5) − 《GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT》(E30) − 《HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES GENERAL SESSION》(E37) − 《Standard for Processing Management》( E40) − 《Equipment Performance Tracking》(E116) − 《Specification For Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface》(E84) − 《Specification For Carrier Management(CMS)》(E87) − 《Specification For Control Job Management》(E94) − Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Service》(E39) − 应无人工厂的需求,买方公司部署AMHS自动上下货机器人,对应对于机台需要支持E84,E87的软硬件功能 − E4:串口点对点通信标准（底层） − E5:消息数据格式（设备状态，设备控制，物料，配方管理，异常处理等） − E30：基于E5 − E37：基于TCP/IP，代替E4 − E40：特定物料加工配方程序，定义行为标准 − E116：跟踪设备的状态与性能，提供诊断功能 − E84：物料运输的晶圆传送标准（通过AMHS），并行IO硬件通信接口 − E87：协调carrier进出设备管理标准（检验标识等） − E94：过程控制 − E39：定义数据结构，提供通用对象的读写服务