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基于MATLAB的
MEMS表面形貌重构
分析获取的干涉图,熟练掌握MATLAB的操作,了解还原表面形貌的基本算法,编写适合的算法仿真出微结构表面形貌。 技术要求: (1)会分析所获取的微结构表面形貌干涉图; (2)熟练掌握MATLAB的操作; (3)熟悉处理干涉图的相应算法; (4)仿真出微结构的表面形貌。
2019-12-21 21:33:05
4.51MB
毕业设计
MEMS表面形貌重构
MATLAB
白光干涉
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