mems技术与应用,侧重于应用介绍，了解mems应用的好书

提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。

早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。

这项研究提出了一个单一的质量块CMOS-MEMS加速度计，带有集成的三轴传感电极阵列。 本研究采用平面指型和平面外板式间隙闭合传感电极。 采用标准TSMC 0.35Pm 2P4M CMOS工艺和内部后CMOS工艺实现器件。 电容面内和面外传感间隙可以通过CMOS工艺的最小线宽和厚度来定义。 结构尺寸仅为500x500Pm2。 测量结果表明，X轴的灵敏度（非线性）为2.47mV / g（1.3％），Y轴为2.87mV / g（1.4％），Z轴为3.89mV / g（3.4％）。 面内和面外传感的噪声流量分别为0.59mg / rtHz和0.8mg / rtHz。

MEMS技术的飞速发展使MEMS加速度计变得成熟，应用范围得到了扩展。 研究了多种MEMS加速度计。 根据MEMS加速度计的工作原理，它可以分为：压阻，压电，电容，隧道，谐振，电磁，热电偶，光学，电感等。由于其在尺寸，质量，功耗和功耗方面的出色表现，可靠性，MEMS传感器用于军事应用以及要求高耐环境性的场合。 MEMS加速度计发展Swift，具有良好的应用前景。 为了使MEMS加速度计得到更广泛的了解，阐述了MEMS加速度计的优点。 介绍了MEMS加速度计的研究现状，并对MEMS进行了分析。 加速度计在现实环境中的应用以及MEMS加速度计在未来的发展趋势。 追求高性能，低功耗，高精度，多功能和交互作用的学者将更多地投入到MEMS加速度计的研究中。 强大的MEMS加速度计将在未来无处不在。

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MEMS技术及其应用，李德胜编，哈尔滨工业大学出版社