传统光伏电池的生产工艺。目前常规的电池是 P 型电池。传统的 电池生产流程,包括从硅片出发经历清洗制绒、扩散制结、刻蚀、去 除磷硅玻璃、PECVD 镀反射膜、丝网印刷、烘干烧结、分类检测等 工艺,完成电池的制造。PERC 电池工艺介绍。与常规单晶电池工艺相比,PERC 单晶电 池主要增加了背面钝化和激光打孔两道工艺。背面钝化工艺在硅片背 面沉积三氧化二铝和氮化硅,对硅片背面进行钝化。三氧化二铝由于 具备较高的电荷密度,可以对 P 型表面提供良好的钝化;氮化硅主要作用是保护背部钝化膜,并保证电池背面的光学性能。激光打孔工艺 是利用一定脉冲宽度的激光去除部分覆盖在电池背面的钝化层和氮 化硅覆盖层,
1