FMCS 是 Facility Monitoring Control System 的缩写，其中文为厂务监控系统简称,它是针对目前半导体厂内制程所使用的监控系统, 用途是将厂区内特定的，有危害的，影响制程状态或系统资料进行监控。并将其记录，以供问题即时处理及日后问题分析