提出了一种超结(SJ)VDMOS,其沟槽栅极下方具有高k(HK)介电柱,并通过仿真进行了研究。 HK电介质导致n柱的自适应辅助耗尽。 这不仅增加了n柱掺杂浓度,从而降低了比导通电阻(Ron,sp),而且减轻了SJ器件中的电荷不平衡问题。 在高电压阻挡状态下,HK电介质削弱了横向场并增强了垂直场强度,从而提高了击穿电压(BV)。 通过沟槽侧壁的离子注入形成了狭窄且高度掺杂的n柱,以进一步降低Ron,sp。 与传统的SJ VDMOS相比,R on,sp降低了42%,BV增加了15%。
2024-05-28 15:16:19 649KB Charge Dielectric Doping
1
Ni-Mn-Sn材料Co元素合金化效应,王戊,余金科,本文研究了Ni49Mn39Sn12材料经2at%Co元素合金化处理后对马氏体结构转变及磁性能的影响。结果表明,两合金在升温过程中均首先发生马氏体
2024-02-24 08:56:27 315KB 首发论文
1
Doping语句参数详解: 1. 解析分布类型参数介绍 这些参数语句定义了Atlas将如何从解析函数中生成一个掺杂分布. (1)Gaussian类型解析分布 Gaussian定义了高斯解析函数的使用来生成一个掺杂分布。 如果Gaussian被定义了,那么下面的参数必须被定义。 (i) 极性参数 N.type P.type (ii)下列分布定义之一: concentration和 junction 浓度和结深 concenration 和 charactreistic 浓度和特性 dose和characteristic 剂量和特性长度 (2)Uniform定义了使用常数作为解析函数来生成掺杂分布。掺杂会通过边界参数被定义在一个box中。这个box的默认值是整个区域。同样如果Uniform被定义了,那么N.type P.type以及浓度参数都必须定义。
2022-04-04 11:30:44 3.35MB 微电子设计
1