完整英文版 IEC 60747-14-11：2021 Semiconductor devices - Part 14-11：Semiconductor sensors - Test method of surface acoustic wave-based integrated sensors for measuring ultraviolet, illumination and temperature（半导体器件 - 第14-11部分：半导体传感器 - 用于测量紫外线、照明和温度的基于表面声波的集成传感器的测试方法）。IEC 60747-14-11:2021(E)定义了术语、定义、配置和测试方法可用于评估和确定基于表面声波的半导体传感器与紫外线、照度和温度传感器集成的性能特征。测量方法为直流特性和射频特性，射频特性的测量方法包括直接模式和基于反馈振荡的差动放大器模式。本文件不包括TC 49处理的设备：用于频率控制、选择和检测的压电、介电和静电设备及相关材料。