研究一种步进扫描投影光刻机工作台扫描运动超精密轨迹规划算法及误差控制策略。在分析三阶扫描运动与步进运动 轨迹规划异同点的基础上，提出三阶扫描运动轨迹规划算法。针对扫描运动精确性与严格同步性要求，分析扫描运动轨迹规 划误差补偿的几个关键问题。根据扫描运动轨迹算法离散实现存在的误差，结合内部整数积分策略，提出扫描运动轨迹规划 加减速段与扫描速度稳定段运动距离的离散积分策略误差控制方法。此外，为克服切换时间圆整引起的扫描曝光匀速段位置 误差，提出一种基于常速扫描运动段位置修正因子的误差补偿方法。以上方法共同实现光刻机工作台扫描运动轨迹规划精度 控制。实例证明提出算法是有效和精确的。该算法成功应用于100 r蚰步进扫描投影光刻机工作台的超精密运动控制系统中。

基于MATLAB-Robotics的七自由度机器人运动轨迹规划仿真.pdf

运动控制器的应用已经遍及众多领域，特别是在交流伺服和多轴控制系统中。它能够充分利用计算机资源，方便地帮助用户实现运动轨迹规划、完成既定运动和高精度的伺服控制。运动控制技术将不断和交流伺服驱动技术、直线电机驱动技术等相结合，促使我国机电一体化技术不断提高。本文介绍了运动控制系统及其应用。

本文讨论一种应用于血凝检测系统的两自由度的双机械臂的运动轨迹规划的算法优化问题。机械臂是该系统的重要组成部分，其工作状态直接关系到整个系统运行的稳定和可靠。文中采用D-H矩阵对双机械臂的位置和姿态进行数学建模，进而通过基于笛卡尔空间的圆弧插补法进行路径规划，得到更加平滑机械臂运动轨迹。最后，使用优化的人工势场法，使双机械臂在无碰撞的情况下顺利达到目标点。MATLAB仿真实验证明改进的算法能够较好的弥补传统人工势场法的缺陷，提升机械臂运动轨迹规划效果。

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