一、穆勒矩阵构成
穆勒矩阵是一个4*4的矩阵，完整描述了介质的偏振属性。可通过水平线偏振光H、垂直线偏振光V，45°线偏振光P，右旋圆偏振光R入射，并分别探测水平线偏振光H、垂直线偏振光V，45°线偏振光P，右旋圆偏振光R出射情况下的能量值，即16种偏振态组合下的强度结果，HH/ HV/ HP/ HR，PH/ PV/ PP/ PR，VH/ VV/ VP / VR和RH/ RV/ RP/ RR。进而Mueller矩阵可按照公式（1）计算得到：
2022-11-04 09:34:42
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针对穆勒矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法,将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配,建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线性模型。针对解析式复杂的随机方位角误差,从统计学角度提出了一种等效噪声模型以分析其对测量结果的影响。采用上述简化方法系统分析了椭偏仪的6种系统误差源和2种随机误差源对穆勒矩阵测量结果的影响,并以一个典型光刻投影物镜的穆勒光瞳为检测对象,进行了检测仿真。仿真结果验证了所提方法分析的准确性。
2021-10-28 23:19:42
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