硅微加速度计结构示意图，总体尺寸在1400微米以内，质量块尺寸为200μmμm，质量块的厚度为80μm，梁的尺寸（300）μm*40μm，梁的厚度为30μm。
材 料：自选（可类比课件例题或前实验题）
弹性模量：1.69e11;
泊松比：0.3；
密 度：2.3e3。
网络化类型：自选
2023-01-15 14:20:37
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硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且 该种传感器在强辐射作用下能正常工作，使其近年来发展迅速。
2021-06-11 16:55:15
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