针对近红外InGaAs焦平面(FPA)调制传递函数(MTF)的测量要求,设计了一种全反射式Offner光学系统,由两块共轴的球面反射镜构成,11成像,F数为4。在焦平面工作波长1.7 μm下对光学系统进行优化,设计结果显示,在8 mm×30 mm的宽视场(FOV)内任一点,空间频率20 lp/mm处(对应光敏元尺寸25 μm×25 μm的焦平面的Nyquist频率),光学系统的MTF在1.7 \mm达到0.82,接近衍射限。Zygo激光干涉仪在0.6328 μm波长下的测量结果显示,系统的波前差均方根(RMS)值在0.6328 \mm约为1/20 λ,20 lp/mm处MTF在0.6328 \mm达到0.93。将测量得到的波前差数据代入CODEV中计算,结果表明波长1.7 μm下系统在8 mm×30 mm的视场内任一点,空间频率20 lp/mm处的MTF实验值仍高于0.8,满足要求。
2021-02-09 09:06:45 2.85MB 近红外 焦平面调 全反光学 Offner
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