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点衍射干
涉仪中小孔衍射波面误差分析
针孔或光纤直径的大小是影响
点衍射干
涉仪检测精度的重要因素, 在实际检测中须根据检测任务的精度要求来选择小孔的尺寸。基于标量衍射理论, 仿真计算了小孔尺寸引起的衍射波面相对标准球面偏离的误差。结果表明, 当小孔直径为2.5 μm, 数值孔径(NA)为0.3时, 与小孔有关的光学系统误差峰值(PV)约为0.07 nm。仿真方法和计算结果为针对各种高精度面形检测任务而设计
点衍射干
涉仪和分析其精度提供了理论和数据参考。
2022-08-17 19:05:58
843KB
光学检测
点衍射干
标量衍射
衍射波面
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