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各种大口径移相式菲索型激光干涉仪的比较

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用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪

在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上，提出了一种扩大其测量范围的方法，使得在保持纳米精度的前提下，测量范围由半个波长扩大为125.56μm，并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证。

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MCV-500技术指标

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2022年激光干涉仪测量系统市场前景分析及研究报告.docx

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LDDM硬件-软件分册

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雷尼绍激光干涉仪测量数控程序

激光干涉仪精度检测，两种非常简单的机床数控程序

2021-10-23 15:21:06 301B 雷尼绍 激光干涉仪

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