为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差,并在设计时对膜层引入的离焦项和球差项进行了间隔优化补偿,补偿前后标量波像差和质心畸变分别从68.92 nm 和3.76 nm 改善为1.08 nm 和0.38 nm,偶极照明模式下90 nm 密集线条对比度从0.082 提高为0.876,在此基础上,提出在设计时根据不同表面的入射角分布情况,采用组合膜系,同时控制P光和S光的振幅和相位分离,减小膜系引入的延迟和二次衰减等偏振像差,使得线条对比度提高了1.1%。
2024-05-27 19:12:59 6.61MB 光学制造 投影光刻
1
cartographer改进点.odt
2024-05-27 10:32:49 13KB
1
论文研究-基于改进的Dijkstra算法的动态最短路计算方法.pdf,  首先将所研究的时间段进行时段划分, 然后基于每个路段在每个时段内的历史平均速度给出了改进的Dijkstra算法, 它可以给出任意时刻从任意节点位置出发到达任一目的地的行程时间最短的路径及其相应的行程时间; 其次在允许超车行为存在 的条件下将出行者进行分类, 并给出了相应的最短路算法. 论文最后给出了相应的算例验证了算法的可行性.
2024-05-24 23:49:43 432KB 论文研究
1
针对传统随机生产模拟忽略负荷的时序特性而难以考虑机组启停、备用、调峰等相关动态费用的问题,将转移频率分析纳入随机生产模拟框架中,形成了改进等效电量频率法.该方法通过等效负荷频率曲线(ELFC)的卷积考虑机组启停,将生产成本分析的范畴拓宽到动态费用的计算.根据所提算法和含风电的EPRI 36算例,比较了风电并网前后系统可靠性指标、燃料成本、环境成本和动态费用等的变化,并研究了风电装机规模对动态费用率的影响.结果表明,相对于动态费用的增加,风电对系统可靠性与经济性的改善是主要的,但动态费用率随着风电规模的扩大
2024-05-21 17:04:48 934KB 工程技术 论文
1
麻雀搜索算法(SSA)文章复现(改进Tent混沌初始化+改进Tent混沌扰动+高斯扰动)——CSSA。 复现内容包括:改进算法实现、23个基准测试函数、改进策略画图分析、文中三种混沌图分析、与SSA对比等。 代码基本上每一步都有注释,非常易懂,代码质量极高,便于新手学习和理解。
2024-05-20 18:01:44 480KB
1
针对现有群体智能优化算法在处理多目标功率潮流和电压优化问题时出现的易陷入局部最优、Pareto前沿分布性能不佳等问题,本文结合灰色狼群算法(GWO)和平衡优化器(EO)算法的搜索机制,开发出改进的灰狼平衡算法(GWEO)。该算法在GWO搜索机制的基础上加入了EO的扰动机制,进一步扩大了算法的搜索范围,有效提升了算法搜索结果的收敛性和分布性。然后以IEEE12、33、118节点配电系统为算例,以系统损耗最小、平均电压偏差最小和分布式光伏弃光率最小为优化目标,将GWEO应用到考虑分布式接入场景的配电网多目标功率潮流和电压优化中。优化结果表明,改进的GWEO可为决策者提供更优质、更多样的功率潮流和电压优化方案,因此更能满足实际配电网功率潮流和电压优化的场景需求。
2024-05-17 14:42:50 180.87MB 数学建模 电力系统 无功优化
1
基于改进PSO-LSTM神经网络的气温预测.pdf
2024-05-13 10:49:10 1.18MB
1
算法设计与分析:回溯法求解地图涂色问题(含代码,4种改进方法)完整代码!
2024-05-10 19:45:14 16KB
1
《php+html5(原代码改进)多进程实现大视频文件无刷新上传 》这个代码的改进升级版本,更新内容如下: 【2023.04.22】 1、修复大文件上传,上传到100%,合并文件这步容易失败(失败原因是文件越大合并耗时越长,超出运行时间就会超时失败,增加设置长运行时间来解决) 2、增加断点续传功能(标题写有 断点续传,试了下和代码里也没看到相关代码,就自己研究下加入) 3、运行日志,增加几个运行步骤明细,让上传更直观到哪一步了 PS:源码下载至 https://download.csdn.net/download/wangsenling/10877679,使用中发现些问题,并按照自己的想法进行了改进,既然作者热于源码分享,那我也把自己改进后的源码分享出去。
2024-05-08 21:50:10 114KB 大文件上传 断点续传
1
根据矿工安全行为自身的复杂性,影响因素的多样性,行为过程的非线性、模糊性、随机性、时变性的特点,从安全生理、安全心理、工程心理、安全管理、生活重大事件、不同文化差异6个方面构建了矿工安全行为心理测量的初试量表。通过相关数学工具确定了与矿工安全行为状况紧密相关的63条测量指标作为评价因素集合,建立了基于灰色-模糊-改进动量BP算法的矿工安全行为状况的综合评价模型。通过实践应用表明,该方法能对矿工安全行为状态进行较为准确的评价,能满足生产现场矿工不安全行为预测的要求。
2024-05-04 18:16:45 202KB 行业研究
1