内容概要：本文详细介绍了声表面波(SAW)谐振器与滤波器器件的设计流程，涵盖COMSOL有限元仿真软件的建模技巧、掩膜板绘制方法以及工艺流程设计要点。首先讨论了COMSOL建模中网格划分的关键参数设置，强调了边界层网格对于提高仿真精度的重要性。接着介绍了利用Python库gdspy自动化生成GDSII文件的方法，提高了掩膜板绘制的效率并减少了人为错误。最后探讨了工艺参数反向校准仿真，指出材料参数、电极厚度等因素对器件性能的影响，并提供了具体的优化建议。
适合人群：从事声表面波器件研究与开发的技术人员，尤其是具有一定仿真和工艺基础的研发人员。
使用场景及目标：帮助研究人员更好地理解和掌握SAW器件的设计流程，确保仿真结果与实际工艺紧密结合，从而提高器件性能和可靠性。
其他说明：文中还分享了许多实践经验，如避免常见的仿真与工艺脱节问题，提供了一些实用的代码示例和技术细节，有助于读者在实践中少走弯路。
2025-05-22 10:28:54
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电场、位移、深度方向、叉指对数、插入损耗、带宽、声孔径、衍射
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2025-04-12 19:49:26
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为了解决声表面波滤波器插损太大，造成有用信号衰减严重，弥补插损又会引起底部噪声抬高的问题。该文设计了一种用LC集总元件实现的窄带带通滤波器，其特点是插入损耗小，成本低，带外衰减大，较好解决了因声表面波滤波器插损大而引起的一系列问题，不会引起通道底部噪声的抬高。仿真结果证明了该设计方案的可行性。
2024-07-02 09:49:58
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金刚石材料具有最高的声速，与压电薄膜相结合可获得高声速的声表面波器件。该文以改进的传输矩阵计算方法系统研究了12种不同边界条件下AlN/LiNbO3/diamond叠层结构的声表面波波速和耦合系数与AlN 和LiNbO3厚度的关系。结果表明：AlN/LiNbO3/diamond的一阶声表面波在一定范围内可保持约9km/s的波速而不随LiNbO3和AlN的厚度而变化；其中4种结构的一阶声表面波耦合系数均可达到8%以上，且可在多种厚度组合下获得。结果显示：AlN/LiNbO3/diamond叠层结构兼具AlN
2023-05-04 02:12:29
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行业-电子政务-基于SOI和压电薄膜的声表面波高温应变传感器芯片及其应用结构.zip
2021-08-30 18:01:45
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