由于压电马达具有体积小高等优势，目前越来越多的用户选择该产品替代传统的电机定位产品。目前市面上常用的压电马达有三种：粘滑式压电马达；步进式压电马达和超声波或共振压电马达。这三种类型都有其特定的有点和用途，下文会通过原理详细介绍这三种压电马达。　　一、 压电马达原理简介　　1）粘滑式压电马达　　　图1、粘滑式压电马达工作原理图　　如图1所示，阐述了粘滑式压电马达的工作原理，粘滑式压电马达主要由轴承、滑块（即移动部分）、接触点、一端固定的压电促动器组成。压电陶瓷的的长度随着施加电压的变化而变长或变短，由于滑块与接触点的摩擦力滑块会随着压电陶瓷的形变一起运动，如图1中第二个图所示。这一过程又称为粘贴

ACT_Piezo & MEMS Extension_WS5 - Thermoelastic Damping.pdf