电容式传感器工作原理 　　电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图1所示。 　　 　　图1 单电容式和差分电容式传感器 　　(a) 单电容传感器 　　(b) 差分电容传感器 　　图1(a)为两平行板组成的电容器，图1(b)为两平行板中间插入极板组成的差分电容传感。对图1(a)而言，当忽略电容器的边界效应时： 　　电容器的电容量为：　 　　 　　式中A为电容器的极板面积，d为极板的距离，er、e0为介电常数。 　　电容传感器中的变间隙式电容传感器的C-d特性如图2所示。 　　 　　图2 变间隙式电容传感器的C-d特性曲线图 　　单电容传感器的一个极板固