提出了一种基于多模干涉效应(MMI)的单模-多模-间隙-单模(SMGS)光纤悬臂梁振动传感器。采用光束传播法(BPM)对这种结构的光传输性能进行数值模拟,并通过有限元分析方法对光纤悬臂梁进行了振动模态分析,从理论上优化设计了该类光纤振动传感结构。在实验上制备了长度为22 mm的悬臂梁结构,详细研究了多模区光纤的长度对声频振动响应的影响。实验结果表明,该SMGS振动传感器在130 Hz时响应效果最好,对应的声压灵敏度为4 mV/mPa,线性相关系数为0.9962,线性度和可重复性良好,并且实验结果和理论模拟结果相符合。这种光纤振动传感器具有制备工艺简单、成本较低和灵敏度高等特点,有望应用于对某些具有特殊振动频率点的远距离振动传感。
1