用L-Edit绘制电容版图的具体步骤如下:
(1)新建电容单元:执行Cell/New子命令,打开Create New Cell对话框,在其中的New Cell name栏中输入单元名称,如:Cap,然后单击OK按钮。图5.1 电容版图
(2)绘制电容单元:电容中要用到Poly、Poly2、Metal1、Poly Contact、Poly2 Contact、Poly-Poly2 Capacitor ID等图层,电容的有效面积是Poly、Poly2的正对面积,也就是Poly2的面积。先画一层Poly2,尺寸为50×50栅格;接着画Poly-Poly2 Capacitor ID,与Poly2重合;再画一层Poly,尺寸为64×56栅格。在Poly2上放置Poly2 Contact,注意Poly2 Contact要与Poly-Poly2 Capacitor ID最少间隔为3个栅格,放置Metal1将Poly2 Contact包住,Metal1与Metal1之间的间隔为3个栅格;用同样的方法在Poly上放置Ploy Contact。图中尽量多的放接触点是为了减小金属与多晶硅之间的接触电阻。分别把Poly接触孔、Poly2接触孔用Metal1连接起来,作为电容与外界相连的两个端口。
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