摘要：本 文分析了一种商用白光干涉光纤位移传感器的结构和工作原理，并且在Matlab环境下对传感器和读数器的光信号处理过程进行了仿真，得到了传感器位移与读 数器中Fizeau干涉仪光强分布之间的关系，并讨论了传感器信号解调的基本算法。展望了这种传感器在航空工业中的应用前景。 　　一、引言 　　光纤传感器与传统的各类传感器相比有一系列独特的优点，如灵敏度高、抗电磁干扰、耐腐蚀、电绝缘性好、防爆、光路有可挠曲性、结构简单、体积小和重量轻等。所以，光纤传感器已经成为机载光学传感器的必然发展趋势。 　　加 拿大Roctest公司生产了一种商业用途的光纤位移传感器（Fiber-Optic Line

实验五六反射式光纤位移传感器实验(1).docx

半导体工艺原理实验。实验五：光纤位移传感器-位移测试实验

摘要：本 文分析了一种商用白光干涉光纤位移传感器的结构和工作原理，并且在Matlab环境下对传感器和读数器的光信号处理过程进行了仿真，得到了传感器位移与读 数器中Fizeau干涉仪光强分布之间的关系，并讨论了传感器信号解调的基本算法。最后展望了这种传感器在航空工业中的应用前景。 　　一、引言 　　光纤传感器与传统的各类传感器相比有一系列独特的优点，如灵敏度高、抗电磁干扰、耐腐蚀、电绝缘性好、防爆、光路有可挠曲性、结构简单、体积小和重量轻等。所以，光纤传感器已经成为机载光学传感器的必然发展趋势。 　　加 拿大Roctest公司生产了一种商业用途的光纤位移传感器（Fiber-Optic Li

条纹计数法的分辨率精度，而常用的高级外部差调频校准法（如相位差生成载波法，线性调频法），在光源调频过程中伴生有幅度调制和调制调制系统复杂。提出了一种基于双光纤光路相位偏移的法布里-珀罗（FP）位移传感器，原理上省去了光源调频过程，在提高检测精度的同时，成本与条纹计数法相当。位移测量实验结果表明，该传感器在0〜500μm的测量范围内，线性度为1.1％，误差界限为±3μm。