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用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪
在光频
光热调制
半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上,提出了一种扩大其测量范围的方法,使得在保持纳米精度的前提下,测量范围由半个波长扩大为125.56μm,并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证。
2022-07-27 16:56:58
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纳米测量
光热调制
干涉仪
半导体激
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