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采用双波长相移干涉测量
光学非均
匀性的研究
传统
光学非均
匀性测量方法无法避免样品表面平行度、表面面形和系统误差所造成的影响。基于洛伦兹洛伦茨色散公式,对材料的
光学非均
匀性与光波长的关系进行了分析,发现不同光波长下的
光学非均
匀性之差远小于实际应用中对光学元件
光学非均
匀性的精度要求。根据这一分析结果及材料的色散特性,提出了采用双波长相移干涉实现
光学非均
匀性绝对测量的方法,给出了测量原理与实现方法,并通过计算机模拟实验和光学实验验证了该方法的正确性与可行性。
2021-02-25 14:08:09
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测量
光学非均
色散
双波长
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