为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差,并在设计时对膜层引入的离焦项和球差项进行了间隔优化补偿,补偿前后标量波像差和质心畸变分别从68.92 nm 和3.76 nm 改善为1.08 nm 和0.38 nm,偶极照明模式下90 nm 密集线条对比度从0.082 提高为0.876,在此基础上,提出在设计时根据不同表面的入射角分布情况,采用组合膜系,同时控制P光和S光的振幅和相位分离,减小膜系引入的延迟和二次衰减等偏振像差,使得线条对比度提高了1.1%。
2024-05-27 19:12:59 6.61MB 光学制造 投影光刻
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传统多层膜设计所用的全局寻优法的速度非常慢,有时还很难得到理想的膜系。根据Frensnel反射系数公式计算多层膜的反射率,利用单纯形法对软X射线和X射线波段多层膜进行调优,可在短时间内优化出最接近目标光学性能的多层膜膜系结构。计算了不同波长软X射线周期性多层膜的最高理论反射率。单纯形调优算法在保证优化结果与随机搜索法优化结果近似相同的基础上,使优化计算速度提高了十倍以上。同时还用单纯形调优法优化设计了X射线超反射镜,得到了非常理想的非周期膜系。
2024-05-27 19:06:53 233KB 工程技术 论文
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Android 源码 毕业设计高仿今日头条新闻客户端 App 现有功能: 1.获取各种频道的新闻列表,包括视频和非视频新闻; 2.查看新闻详情,包括视频和非视频新闻的详情; 3.查看新闻评论列表; 4.新闻数据本地存储,已经获取到的新闻数据保存在本地数据库中,上拉加载更多时可查看历史新闻; 5.底部页签点击下拉刷新; 6.视频列表播放中的视频不可见时停止播放。 7.查看和保存图片。
2024-05-27 17:35:55 3.95MB android 毕业设计
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基于AT89S51单片机设计的 00-99计数器并且配有proteus仿真模拟
2024-05-27 17:34:20 54KB 51单片机教程
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基于单片机的00-99计数器的设计.doc
2024-05-27 17:12:20 643KB
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管理系统是一种通过计算机技术实现的用于组织、监控和控制各种活动的软件系统。这些系统通常被设计用来提高效率、减少错误、加强安全性,同时提供数据和信息支持。以下是一些常见类型的管理系统: 学校管理系统: 用于学校或教育机构的学生信息、教职员工信息、课程管理、成绩记录、考勤管理等。学校管理系统帮助提高学校的组织效率和信息管理水平。 人力资源管理系统(HRM): 用于处理组织内的人事信息,包括员工招聘、培训记录、薪资管理、绩效评估等。HRM系统有助于企业更有效地管理人力资源,提高员工的工作效率和满意度。 库存管理系统: 用于追踪和管理商品或原材料的库存。这种系统可以帮助企业避免库存过剩或不足的问题,提高供应链的效率。 客户关系管理系统(CRM): 用于管理与客户之间的关系,包括客户信息、沟通记录、销售机会跟踪等。CRM系统有助于企业更好地理解客户需求,提高客户满意度和保留率。 医院管理系统: 用于管理医院或医疗机构的患者信息、医生排班、药品库存等。这种系统可以提高医疗服务的质量和效率。 财务管理系统: 用于记录和管理组织的财务信息,包括会计凭证、财务报表、预算管理等。财务管理系统
2024-05-27 16:37:53 441KB python 管理系统 毕业设计 课程设计
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使用C++完成,采用成组链接法,用vs打开,有报告
2024-05-27 14:14:16 102.52MB 东北大学 操作系统 学生作业
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嵌入式系统的典型特征是面向用户、面向产品、面向应用的,市场应用是嵌入式系统开发的导向和前提。一个嵌入式系统的设计取决于系统的需求。本文主要给大家分享一个典型的嵌入式系统设计。供大家参考! 通常来说,一个嵌入式系统的开发过程如下:   确定嵌入式系统的需求;   设计系统的体系结构:选择处理器和相关外部设备,操作系统,开发平台以及软硬件的分割和总体系统集成;   详细的软硬件设计和RTL代码、软件代码开发;   软硬件的联调和集成;   系统的测试。   一、步骤1:确定系统的需求:   嵌入式系统的典
2024-05-27 14:04:46 261KB
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自动日历表-数电综合设计报告(包含电路仿真和报告) 一、设计题目:自动日历表 自动日历表已进入千家万户,极大地方便了人们的生活,白动日历表的种类多种多样,功能也不尽相同,但其核心部件都是单片机,基本功能就是显示年、月、日、时、分、秒等。本文介绍的是利用中规模集成电路数据选择器设计的自动日历表,由于篇幅的限制,只介绍自动日历表中月份、日数部分控制电路的设计。我们知道每年有12个月,大月31天,小月30天和二月28天(闰年29天)。而数据选择器具有从多个输人数据中选择一个数据输出的功能,因此利用它可方便地实现月份、日数的自动转换。 二、设计目的 1、掌握数据选择器、门电路等电子元件的使用方法; 2、设计自动日历表主题电路并了解其工作原理; 3、熟悉采用异步时序电路设计方法实现课题要求。 三、设计任务及要求 设计并实现自动日历表 1、可以实现月、日显示; 2、对二月的要求:平年28天,闰年29天;
2024-05-27 13:44:32 541KB
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NRF24L01无线收发模块设计,包含PCB和原理图
2024-05-27 12:08:23 80KB NRF24L01 无线收发模块