装配生产线制造执行系统MES 不错的介绍

梁德丰，钱省三，梁静（上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心，上海 200093）摘要：由于半导体制造工艺过程的复杂性，一般很难建立其制造模型，不能对工艺过程状态有效地监控，所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态，而SPC就是其中最重要的一种技术。本文针对SPC做了简要概述，着重论述了根据半导体生产工艺的特点来实现其在半导体晶圆厂的实际应用。 关键词：半导体；SPC；过程控制；控制图 中图分类号：TN301 文献标识码： A 文章编号：1003-353X(2004)03-0058-03 1 前言 近年来，半导体制造技术经历了快速的改变,技术的提升也相对地增加了工艺过程的

梁德丰，梁静，钱省三（上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心，上海 200093）摘要：由于半导体制造工艺过程的复杂性，一般很难建立其制造模型，不能对工艺过程状态作有效的监控，所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态，而SPC就是其中最重要的一种技术。本文着重论述了半导体晶圆厂的SPC与传统行业的不同之处。 关键字：半导体；SPC；过程控制；控制图 中图分类号：TN301 文献标识码： A 文章编号：1003-353X(2004)05-0035-034 SPC控制的方法简介 SPC是通过对线上参数进行分析，来对生产过程进行监控和预测。主要包括数据采集，数据整理和数据分析三

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六、保障措施 （一）加强组织实施 强化部门协同和上下联动，建立健全政府、企业、行业组织和产业联盟、智库等的 协同推进机制，加强在技术攻关、标准制定等方面的协调配合。加强部省合作，依 托国家新型工业化产业示范基地建设等工作，支持有条件的地区发挥自身资源优势， 培育一批人工智能领军企业，探索建设人工智能产业集聚区，促进人工智能产业突 破发展。面向重点行业和关键领域，推动人工智能标志性产品应用。建立人工智能 产业统计体系，关键产品与服务目录，加强跟踪研究和督促指导，确保重点工作有 序推进。 （二）加大支持力度 充分发挥工业转型升级（中国制造 2025）等现有资金以及重大项目等国家科技计 划（专项、基金）的引导作用，支持符合条件的人工智能标志性产品及基础软硬件 研发、应用试点示范、支撑平台建设等，鼓励地方财政对相关领域加大投入力度。 以重大需求和行业应用为牵引，搭建典型试验环境，建设产品可靠性和安全性验证 平台，组织协同攻关，支持人工智能关键应用技术研发及适配，支持创新产品设计、 系统集成和产业化。支持人工智能企业与金融机构加强对接合作，通过市场机制引 导多方资本参与产业发展。在首台（套）重大技术装备保险保费补偿政策中，探索 引入人工智能融合的技术装备、生产线等关键领域。 （三）鼓励创新创业 加快建设和不断完善智能网联汽车、智能语音、智能传感器、机器人等人工智能相 关领域的制造业创新中心，设立人工智能领域的重点实验室。支持企业、科研院所 与高校联合开展人工智能关键技术研发与产业化。鼓励开展人工智能创新创业和解