由于国内半导体设备自动化发展较晚,和设备通信的时候需要用到SECS通信模拟器,很多模拟器只支持HSMS即tcp却不支持RS232,本模拟器支持串口SECSI通信和HSMS通信,可以方便大家调试设备
2019-12-21 21:02:39 490KB EAP SECSI HSMS 模拟器
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从网络搜集的HSMS的协议文档以及PPT介绍,几乎是百度能搜到的有效资料的结合了,相信下了这个压缩档就没必要再用baidu进行中文搜索了。 该资料适合初阶学习及高手查阅用。
2019-12-21 18:50:10 13.34MB HSMS SEMI CIM EAP
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