利用半导体通信协议以及结合硬件实现了半导体设备自动化
2019-12-21 20:33:43 17.12MB SECS/GEM
1
本GEM/SECS模拟端(HOST和EQP端),E5,E30,E37的实现程序,可以与任何其他secs模拟器连接测试.本程序专用于调试或测试。equipment:是设备端程序.host:是主机端程序;先连接,连上之后,可通信相互发指令.如果需要修改port,打开.\ini\secs.ini.找到Port=5000修改为你需要的值,保存即可。若在您的windows系统上运行不起来,是系统缺少微软常用运行库,在CSDN搜索微软常用运行库合集MSVBCFJ_AIO下载安装即可
2019-12-21 20:04:57 3.76MB SECS GEM HSMS E30
1
SECS GEM标准白皮书 有助于了解SECS GEM标准 适合初学者了解协议 有利快速开发(Cimetrix_SECS_GEM_Stds_WP_July_2016.pdf)
2019-12-21 19:24:22 644KB SECS GEM
1
1. Background 2. Overview of SEMI Standards 3. SECS-I 4. SECS-II 5. GEM 6. HSMS 7. Conclusion 8. References
2017-11-23 23:50:25 516KB SECS GEM
1
全中文 針對SECS I SECS II GEM 觀念說明,給各位參考
2017-11-23 23:50:25 690KB SECS GEM SEMI
1