光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台，它要求在系统高速运动的同时，采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式，实现系统纳米级的精确定位及跟踪。为减小微动电机的运动范围和加速度，必须提高直线电机的跟踪精度。针对该系统的直线电机模型设计了一种线性自抗扰控制方法，该方法的控制器首先通过扩张状态观测器观测系统的动态变化，补偿系统中的各种扰动，再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿，减小系统的动态跟踪误差。在此复合控制方式下．控制器实现了自抗扰控制，前馈控制器很好的补偿了误差，从而提高了系统的抗干扰和跟踪

永磁同步电机（PMSM）的自抗扰控制（ADRC）simulink仿真程序，MATALB2015b以上都能正常运行，参数已调节。内涵资料，对simulink各模块怎么搭建及原理做详细介绍，同时附模型搭建的参考文献。应付大作业、本科毕设等绰绰有余

自抗扰控制之上拉式磁悬浮Simulink仿真

二、ADRC的结构 自抗扰控制框图如下图所示 *

自抗扰技术不但能观测系统的所有状态，还能观测系统模型不确定性及内外干扰，但该技术却忽略了测量噪声对系统观测的影响。基于解决测量噪声对观测系统精度的影响，提出了fal函数滤波方法，不仅能克服滤波后信号的幅值、相位与系统的真实输出差别较大的问题，而且具有快速收敛性和较高的滤波精度。仿真结果验证了该方法能够有效地滤除量测噪声对系统观测的影响，体现了该算法的有效性。

针对自抗扰控制中参数b0整定困难的问题，提出一种新的参数辨识方法，对线性自抗扰控制器(LADRC)中的参数b0进行辨识，并提出了LADRC参数整定的基本规律．通过频域分析研究了控制器参数b0和控制器带宽ωc的变化对闭环系统扰动抑制能力的影响．通过分析闭环控制系统的稳定区域研究了控制器的鲁棒性．仿真结果表明，根据辨识得到的b0可以快速整定LADRC的参数，使LADRC具有较强的鲁棒性

针对某电液伺服系统存在非线性及时变性,难以对其进行精确控制的问题,提出了神经网络自抗扰控制方案。该方案利用神经网络所具有的可以实现任意复杂映射关系的能力,将非线性误差反馈控制规律中的比例系数与微分增益作为单神经元自适应控制器的权系数,通过单神经元的自学习功能进行在线调节;同时利用RBF神经网络作为辨识器,以辨识被控对象的梯度信息。通过MATLAB计算机仿真结果证明,该控制方案使系统具有响应速度快、稳态精度高、鲁棒性强等优点,并能够有效的抑制外界扰动。

四、扩张状态观测器(ESO) 线性扩张状态观测器 非线性扩张状态观测器 ESO参数整定 *

四、扩张状态观测器(ESO) 线性扩张状态观测器 非线性扩张状态观测器 ESO参数整定 *

完整的速度环控制回路，可对调速，加减负载进行性能仿真，模型能够直接运行，参数已经优化过，也可自行调参，附带参考论文，只需要在matlab命令行直接输入仿真步长Ts数值即可，本人取Ts=0.0001s，该模型非常适合新手或大学生做课程设计用，供大家参考。