电子元件拾取装置控制系统设计与分析 如图所示的系统,常见于集成芯片制造生产线上,用于放置芯片到合适的位置。请按下面给出的提纲叙述控制系统的设计与分析过程。分析和综合方法采用现代控制理论的内容。 1. 引言(1分) 查找资料,论述此种控制方式的应用范围及研究现状。 2. 建立系统的数学模型(17分) 已知装置质量M=0.08kg、元件质量m=0.02kg、弹簧刚度k=4N/m、阻尼系统b=0.04Ns/m、活塞有效作用面积A=0.002m2。建立输入为气体压力,输出为位移的数学模型。 3. 性能要求 元件移动距离为500mm,要求系统稳态误差为0,最大超调量为10%,调整时间为2.5s。 4. 设计控制器(20分) 设计一闭环系统,可以利用Matlab辅助设计。 5. 实现控制(20分) 叙述如何实现系统的控制,可利用Matlab/Simulink实现系统仿真。 6. 仿真(15分) 利用Simulink进行仿真并绘制压力-时间曲线和位移-时间曲线。 7. 稳定性分析(20分) 可以分析一下当m或M变化时系统的鲁棒性如何?并分析系统在外界干扰下(比如系统遇到障碍时)的稳定问题。 8. 结论(4分) 从上面的分析中可以得到什么样的结论。 参考文献(3分) 列出你在写这篇论文时都参考了什么资料
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