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碱法生产氧化铝离心式渣浆泵的选型 扬程裕量,为使泵能长时间运转在额定工况附近,通常在选泵时增加一个扬程裕量,一般取额定扬程的10%
本文提出了一种基于硅基板的湿度传感器,该传感器由阳极氧化铝膜和指状电极组成。 通过电化学氧化技术,在硅衬底上制备了具有高Kong隙率的AAO膜。 在最佳氧化条件下,Kong径为37-79 nm,深度约为7μm。 通过真空蒸发沉积法在AAO膜的顶部制作叉指电极。 结果表明,该传感器在整个相对湿度(RH)范围内具有不同的非线性响应。 此外,在高RH时(从75%到95%),电容与RH之间几乎具有线性关系。 在1 kHz时可获得613 pF /%RH的最高灵敏度,这比其他频率要高得多。
2021-03-14 10:06:17 768KB Humidity sensor, physically adsorbed,
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