提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。
1
有限元素法中的变分原理基础
2023-07-18 21:44:56 5.8MB 有限元
1
有限元编程有限元编程有限元编程有限元编程有限元编程
2023-07-04 21:52:00 8.46MB 有限元编程
1
有限元法基础与程序设计,比较适合初学者由简入难,带有源程序
2023-07-04 21:48:40 3.25MB 有限元 编程 程序 源码
1
详细介绍了流体力学中的有限元方法及其快速迭代技术,针对流体方程开展方程离散化,并对形成的矩阵方程开展加速求解技术,该类方法为有限元在其他领域(电磁场、力学等)的应用提供了较好的借鉴。
2023-07-04 15:46:01 4.68MB FEM
1
提出了一个简单的混凝土三维模型,基于塑性流动理论,混凝土的非线性受压特性通过屈服条件、流动和硬化规则描述。编制了钢筋混凝土结构非线性分析8节点和20节点的三维等参单元程序。程序中钢筋分别采用分离与分布模式模拟。通过一些经典的算例对比分析,表明提出的混凝土本构模型能够有效地模拟结构的破坏荷载和破坏全过程。
2023-06-29 18:07:59 3.65MB 工程技术 论文
1
该资源涵盖了平面有限单元法的基本教学程序,主要涉及三节点单元,四节点矩形单元,八节点等参单元。编写语言是fortran
2023-06-29 17:50:04 109KB FORTRA FE
1
徐荣桥,《结构分析的有限元法与MATLAB程序设计》,浙江大学建筑工程学院; 带书本附带源程序,见本人上传目录
2023-06-04 20:43:46 2.55MB 有限元分析 MATLAB编程 结构分析
1
一个用于计算电磁场的有限元C++程序 具有通用性 很好的封装性
2023-04-20 18:39:03 239KB 电磁场 有限元 C++
1