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一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低
应力
富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。
2023-07-25 14:23:48
763KB
谐振式;微流量传感器;电磁激励;低应力富硅氮化硅SiN;有限元耦合场仿真;微机电系统
1
matlabhill代码-pyCM:一组用Python编写的可视化和数据处理工具,用于执行轮廓法确定残余
应力
Matlab Hill代码 介绍 轮廓法 用于测量残余
应力
的轮廓法是一种经济高效的耐用技术,已经引起了学术界和业界的广泛关注。 它是由迈克尔·普里姆(Michael Prime)在洛斯阿拉莫斯(Los Alamos)最初开发的,在美国和英国都取得了巨大的发展。 有关轮廓法的更多信息: Michael Prime的网站包含广泛的背景和文献概述: 希尔工程 StressMap,英国开放大学的轮廓方法测量的英国提供商 VEQTER,在各种残余
应力
测量技术方面的专业知识 分析代码 最近发现,对于轮廓法而言,MATLAB中可用的可视化工具并不是最可靠的工具。 例如,使用激光轮廓仪开发的大型数据集通常可以超过最新版本的MATLAB的图形功能。 从MATLAB进行轮廓方法分析的原因很多: 内置库的专有性,外部库的成本和许可问题。 在托管桌面上处理路径依赖性方面存在困难。 尽管可以在未安装MATLAB的计算机上运行“已编译”的MATLAB代码,但这依赖于目标计算机上具有相同的MATLAB组件运行时安装,这是专有的并且非常大(250 Mb +)。 MATLAB内置的文本文件解析功能减少,这使得处理FE代
2023-07-14 21:49:13
9.69MB
系统开源
1
工程航宇、机械,切削、铣削加工,热力计算,残余
应力
,热弹塑性
应力
。
基于matlab的镜像热源程序程序。 程序完美运行,注释清晰。 工程航宇、机械,切削、铣削加工,热力计算,残余
应力
,热弹塑性
应力
。
2023-07-14 21:29:42
15KB
切削
切削热
镜像热源
工件、刀具、切屑温度
贴片及引脚式LED芯片连接的热
应力
应变对比分析 (2011年)
高功率LED的高温是产生
应力
的根源。采用有限元方法对2种LED芯片连接方式进行模拟,获得2种LED封装下的温度分布及应变分布。研究表明,贴片式连接的应变数值小于引脚式连接应变数值,同时贴片式连接产生的应变释放空间更大,说明在相同的装配工艺下贴片式封装的可靠性更高。
2023-06-27 15:24:26
2.48MB
自然科学
论文
1
基于ABAQUS的O形密封圈密封性能仿真研究
基于ABAQUS有限元分析软件,建立O形密封圈的有限元模型,分析了预压缩量、流体压力、摩擦系数以及运动速度对O形密封圈密封性能的影响。通过分析发现:在影响O形密封圈密封特性的各个因素中,预压缩量是次要因素,而流体压力和摩擦系数是主要因素。
2023-04-08 19:56:48
346KB
液压传动
密封圈
密封
接触应力
1
三维
应力
变换:该文件将帮助使用两种不同的方法计算
应力
变换。-matlab开发
玩得开心伙计们。 不要费力地手工计算
应力
转换。
2023-04-03 18:46:00
9KB
matlab
1
荧光方法测量
应力
开展
应力
的无损测量方法研究对
应力
测量具有重要意义。介绍了6种利用荧光测量
应力
的方法:Cr3+荧光压谱效应、拉曼压谱效应、稀土荧光压谱效应、荧光寿命和氧分压相关的荧光猝灭,简述了它们的基本原理及应用,分析了各自的优点和局限性,对这些方法在航空航天机械的健康监测、可靠性评估、失效预期等方面的发展前景作了展望。
2023-03-30 14:42:17
493KB
应力;
压谱效应;
荧光寿命;
压敏涂料;
1
ra_windstr.zip_eateag_ra_windstr_表面风
应力
_计算风
应力
_风
应力
该程序可以用来计算表面风
应力
。只需给定十米高度的速度场,即可运行。
2023-02-10 15:01:18
2KB
eateag
ra_windstr
表面风应力
计算风应力
立柱在冲击动载荷作用下的动
应力
及冲击力分析
建立了液压支架立柱的冲击模型,通过推算液压支架立柱等效刚度,应用能量法分析推导了液压支架立柱冲击动载荷系数的表达式,进而计算了不同立柱的等效刚度和动载荷系数,从而可以求得冲击过程对地基基础的最大作用力,为立柱冲击试验台的配套地基基础提供边界载荷数据,也为进一步研究立柱抗冲击性能奠定基础。因此,立柱冲击动载荷系数分析对于后续的立柱抗冲击性能分析和冲击试验台建设具有重要意义。
2023-02-07 09:37:21
147KB
行业研究
1
管道受力计算与
应力
验算
本表格主要用于供热直埋管道的
应力
计算,架空管道的跨距计算,补偿计算等,作为辅助设计工具使用。
2023-01-28 12:55:06
207KB
供热
直埋管道
应力
1
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