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Elastic Waves in Solids I: Free and Guided Propagation (Advanced Texts in Physics), 2000, Daniel Royer (Author), Eugene Dieulesaint (Author), D.P. Morgan (Translator)

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针对单负载，垂直变形引起的传统MEMS（微机电系统）谐振器窄带和谐振频率固定的问题，提出了一种新型的具有超宽带，可调谐频率和基于垂直方向两级调节特性的MEMS谐振器。和水平负载。 建立了水平和垂直负载双级调节谐振器的微分方程，推导了两端锚定的谐振器的频率方程。 提出的谐振器的中心频率为17.7 MHz，两级范围分别为395480 ppm和16 ppm。

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Electromagnetic Fields and Waves 2019 Electromagnetic Fields and Waves.pdf (14.81 MB, 下载次数: 304 ) ISSN 2524-4345 ISSN 2524-4353 (electronic) Textbooks in Telecommunication Engineering ISBN 978-3-319-90846-5 ISBN 978-3-319-90847-2 (eBook) Library of Congress Control Number: 2018942496 # Springer International Publishing AG, part of Springer Nature 2019