SEMI E37-0298 (HSMS spec) High-speed SECS Message services(HSMS) generic services
2022-06-07 14:49:01 161KB SECS-GEM HSMS HSMS spec
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半导体行业应用,尤其是GEM开发者必须需需要的,这个是SEMI标准开发提供的‘’
2022-06-07 14:48:01 1.22MB SECS&GEM;
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PPT讲解SEMI的半导体设备通讯标准,概况描述E4,E5,E30,E37的内容,及其关系。入门课程,全面了解。
2022-06-03 09:14:12 621KB SECS 1/2 SECS GEM
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secs -gem 规格书一份,不会写规格书的同学可以拿走
2022-05-23 16:53:46 514KB secs hsms
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SEC调试工具 亲测可用
2022-05-06 18:02:43 779KB 源码软件 SECS IC半导体行业软件
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ITRI CIM Emulator 适用IC半导体设备行业协议调试
2022-05-06 18:02:43 420KB IC半导体 SECS 通讯协议调试 调试工具
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ASML SECS Manual,对于Semi Standard的学习非常有帮助
2022-04-30 12:16:39 7.95MB SECS ASML
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GEM/SECS模拟工具Simulator. 能与E5,E37的程序无接缝连接,能与任何其他支持secs的设备或EAP稳定连接.程序主要用于测试。 使用可视化SML语言编辑通讯内容。
2022-04-18 16:05:58 2.2MB SECS GEM
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GEM/SECS模拟端Simulator,能与E5,E37的程序无接缝连接,能与任何其他支持secs的设备或EAP稳定连接.程序主要用于测试。 使用可视化SML语言编辑通讯内容。
2022-04-18 15:52:47 2.19MB SECS GEM SECS/GEM Simulator
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SEMI E5-1104 SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT (SECS-II)
2022-03-29 00:27:53 2.66MB SEMI E5 SECSII
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