梁德丰,梁静,钱省三(上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心,上海 200093)摘要:由于半导体制造工艺过程的复杂性,一般很难建立其制造模型,不能对工艺过程状态作有效的监控,所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态,而SPC就是其中最重要的一种技术。本文着重论述了半导体晶圆厂的SPC与传统行业的不同之处。 关键字:半导体;SPC;过程控制;控制图 中图分类号:TN301 文献标识码: A 文章编号:1003-353X(2004)05-0035-034 SPC控制的方法简介 SPC是通过对线上参数进行分析,来对生产过程进行监控和预测。主要包括数据采集,数据整理和数据分析三
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本文采用因子分析,聚类分析,判别分析等方法对半导体行业进行多元统计分析,并从企业财务指标对企业绩效进行评估。 KMO检验和Bartlett检验表明,半导体行业的财务数据非常适合因子分析。 通过因子分析和聚类分析,最终将71家半导体公司按照偿付能力,盈利能力,运营能力和成长能力分为四类,为投资者提供参考。
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芯片设计,IC流程,各种入门资源《38个文件》 5--芯片规划与设计(3学时).ppt 18微米芯片后端设计的相关技术.pdf ASIC芯片设计生产流程.ppt ECO技术在SoC芯片设计中的应用-王巍.pdf ic设计流程工具.docx LDO芯片设计报告及电路分析报告.pdf 半导体缺陷解析及中英文术语—览.pdf 半导体制程简介.ppt 常用存储器芯片设计指南.pdf 超大规模集成电路设计.ppt 超大规模集成电路中低功耗设计与分析.pdf 第二讲.集成电路芯片的发展历史设计与制造.ppt 关于芯片和芯片设计的科普——集成电路设计人员给家人的科普.ppt 华大半导体181页PPT基础知识培训——常用半导体器件讲解.ppt 基于DSP芯片设计的一种波形发生器.doc 集成电路(IC)设计完整流程详解及各个阶段工具简介.docx 集成电路-ch1.ppt 集成电路EDA设计概述.ppt 集成电路版图设计5.ppt 集成电路技术简介.pptx 集成电路设计的现状与未来.ppt
2023-04-13 12:13:36 91.16MB 芯片 IC 半导体
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阐述了大功率半导体激光器恒流源的设计方法,该恒流源采用功率MOSFET作电流控制元件,运用负反馈原理稳定输出电流。应用结果表明
2023-04-12 13:39:56 122KB LabVIEW
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文中采用模块化设计方法,以STC单片机为控制核心,运用PID算法进行运算,用数字式传感器DS18B20测量温度,大电流放大器OPA549驱动半导体制冷器TEC1-12706控制箱体温度,液晶显示屏TDJM1602实时显示,设计出用于车载冰箱的智能温控系统。该系统也能应用于饮水机,医疗恒温箱等器件中。
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半导体材料系列:第三代半导体碳化硅行业前瞻(2022)(88页).pdf
2023-04-01 09:50:12 5.87MB
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是金属半导体接触PPT,非常好的资料,其中包含了肖特基接触,欧姆接触等。
2023-03-31 15:40:25 1.33MB 半导体
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不管是逻辑芯片还是存储芯片,制程量级越低,技术难度越大,制作成本也越高。IBS 的 数据显示:28nm 体硅器件的设计成本大致在 5130 万美元左右,而 7nm 芯片需要 2.98 亿, 5nm 则需要 5.42 亿美元,成本的增长速度越来越快。28nm 是半导体制程里性价比最高、长周期属性明显的制程。一方面,相较于 40nm 及更 早期制程,28nm 工艺在频率调节、功耗控制、散热管理和尺寸压缩方面具有明显优势。 另一方面,由于 16nm/14nm 及更先进制程采用 FinFET 技术,维持高参数良率以及低缺陷 密度难度加大,每个逻辑闸的成本都高于 28nm,从前面制程成本比较的图中也可以
2023-03-31 10:47:03 2.31MB 3C电子 微纳电子 家电
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半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造(前道,Front-End)和封装(后道,Back-End)测试,随着先进封装技术的渗透,出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节,称为中道(Middle-End)。由于半导体产品的加工工序多,所以在制造过程中需要大量的半导体设备和材料。
2023-03-22 15:07:53 2.58MB 半导体
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MES&SAP系统对于半导体封装行业的生产管理控制.pdf
2023-03-22 15:06:13 1.28MB
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