只为小站
首页
域名查询
文件下载
登录
图形的保真度-集成电路制造工艺之
光刻
与刻蚀工艺
8.10.1、图形的保真度 经过腐蚀之后图形,通常呈现为三种情况, 设纵向腐蚀速率为Vv、侧向腐蚀速率为Vl。 图(a),Vl =0,腐蚀只沿纵向进行,为各向异性腐蚀。 图(b)和(c),在纵向腐蚀的同时,侧向也进行了腐蚀。若Vv = Vl ,为各向同性腐蚀。
2021-12-27 21:31:38
1.67MB
集成电路
芯片制造
1
ArF
光刻
胶企业:日本JSR复盘及优势分析.pdf
ArF
光刻
胶企业:日本JSR复盘及优势分析.pdf
2021-12-16 11:01:50
1.01MB
光刻
工艺和设备的介绍
光刻
工艺和设备的介绍,适用于刚接触
光刻
技术的新人。
2021-12-02 09:31:45
4.49MB
lithography
1
曝光光学系统性能对
光刻
性能影响的研究.pdf
投影式
光刻
机是微电子产业中极大规模集成电路的加工设备。 照明系统和投影物镜系统是投影式
光刻
机的重要组成部分, 其性能的好坏对
光刻
成像质量起决定性作用。 研究照明系统和投影物镜系统的性能对
光刻
性能的影响对
光刻
投影曝光系统的设计以及
光刻
系统的性能评估具有一定的指导意义。
2021-11-20 11:35:27
16.97MB
半导体
曝光
光学系统
1
医学-具有酸反应性基团的新颖含氟聚合物以及使用这些材料的化学增幅型
光刻
胶组合物.zip
医学-具有酸反应性基团的新颖含氟聚合物以及使用这些材料的化学增幅型
光刻
胶组合物.zip
2021-11-12 09:03:04
12.16MB
AZ_PR
光刻
胶的数据资料
AZ系列
光刻
胶的各类参数,中文资料
2021-11-10 11:00:20
3.17MB
AZ_PR光刻胶
1
Computational lithography
计算
光刻
方面最权威的电子书,2010年版 ' Computational Lithography ' by Xu Ma, Gonzalo R. Arce
2021-11-04 10:22:36
3.35MB
计算光刻
1
模拟技术中的
光刻
机宏动试验运动平台设计及其减振系统仿真研究
(中南大学机电工程学院,湖南 长沙410083)摘 要:对ADAMS的求解原理进行了简单介绍并运用ADAMS仿真软件分别建立了两种结构对应的虚拟仿真模型,对减振系统分别无主动控制和有主动控制进行了仿真研究。以
光刻
机为代表的集成电路设备是光、机、电一体化的高精尖产品,其设计和制造集中体现了相关学科中最高水平的研究成果,如对光学镜头表面轮廓的纳米级测量与误差补偿、亚纳米级粗糙度表面的加工,镀膜材料和工艺、运动平台的那米级定位、设备运动环境(振动、温度、湿度、粉尘等)的控制等提出了极高的要求[1-2]。
光刻
机超精密工件台是
光刻
机的核心部件之一,其运动精度直接影响
光刻
机的分辨力,速度和加速度影响
光刻
机
2021-10-29 13:20:07
107KB
模拟技术中的光刻机宏动试验运动平台设计及其减振系统仿真研究
模拟技术
1
穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法
针对穆勒矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法,将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配,建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线性模型。针对解析式复杂的随机方位角误差,从统计学角度提出了一种等效噪声模型以分析其对测量结果的影响。采用上述简化方法系统分析了椭偏仪的6种系统误差源和2种随机误差源对穆勒矩阵测量结果的影响,并以一个典型
光刻
投影物镜的穆勒光瞳为检测对象,进行了检测仿真。仿真结果验证了所提方法分析的准确性。
2021-10-28 23:19:42
6.96MB
成像系统
光刻
偏振像差
穆勒矩阵
1
gdsCAD:一个简单但功能强大的Python软件包,用于创建GDSII格式的
光刻
掩模-源码
gdsCAD-Python中的简单GDSII设计 gdsCAD是一个简单但功能强大的Python软件包,用于创建,读取和操作GDSII布局文件。 它适合脚本编写和交互式使用。 它在生成带有多个增量调整对象的设计时尤其出色。 gdsCAD使用matplotlib可视化从单个几何图元到整个布局的所有内容。 文献资料 完整的文档可以在以下位置找到: /# 下载 可以通过easy_install在以下位置下载软件包以进行安装: 画廊 一个简单的例子 这是一个简单的示例,显示了一些具有对齐功能的文本的创建。 它涉及图形几何, Cell和Layout 。 结果保存为GDSII文件,并显示在屏幕上: import os.path from gdsCAD import * # Create some things to draw: amarks = templates.AlignmentMarks(
2021-10-28 20:13:41
452KB
Python
1
个人信息
点我去登录
购买积分
下载历史
恢复订单
热门下载
Microsoft Visual C++ 2015-2019 运行库合集,包含32位64位
android studio课程设计作业PPT+设计文档+可运行源代码+设计思路
DBSCAN算法Matlab实现
android开发期末大作业.zip
Plexim Plecs Standalone 4.1.2 x64.7z
OLED显示温度和时间-STM32F103C8T6(完整程序工程+原理图+相关资料).zip
Keil5安装包
大学生网页设计大作业-5个网页设计制作作品自己任选
银行笔试 信息科技岗部分真题
Steam离线安装版
基于STM32的FFT频谱分析+波形识别
工程伦理_李正风,丛杭青,王前_北京:清华大学出版社 , 2016.08_P329.pdf
房价预测的BP神经网络实现_python代码
空间谱估计理论与算法------程序.rar
麻雀搜索算法(SSA)优化bp网络
最新下载
html基础网页设计我的家乡.zip
spire.pdf 去除水印,显示多页,亲测有效
通信系统中的多采样率信号处理
USB调试助手2.0(20191108).rar
ASP.NET报名系统(源代码+参考文献).zip
ASP版阿里云OSS云储存上传代码
stars:区域系统的时空分析-源码
PR插件集合
科来网络分析系统15.2.0.15277-技术交流版
中国科学院大学自然语言处理 期末试题(宗成庆).pdf
其他资源
基于情感词典的中文微博情感倾向分析研究_陈晓东
认知无线电原理与应用(PDF)
硬件测试方案-整机和单板.doc
HTML个人简历
CAN总线轻松入门与实践(完整版).pdf
基于Android的仿QQ聊天软件
王爽老师版《汇编语言》全部实验报告
易语言-GDI+类模块使用教程(亲测很靠谱)
超市库存管理系统的MFC实现
物联网安全PPT
云计算系统研究及其在交通运输中的应用
learningTech:Aprendendo git-源码
k最短路径 k shortest path problem matlab 代码 Yen
windows-nuget.exe
LQ690K 进纸传感器.rar
分形维数在研究混凝土集料界面中的应用.doc
Java Api1.7参考文档 html
【野火】K60中文资料整合版,高清
php将页面保存为word
卡尔曼滤波算法及C语言代码.
BGP(基于华为)理论学习+特性介绍+命令学习+实验配置+组网案例
自用webstorm配置setting jar包
图书馆管理系统asp.net
通过SSH实现Oauth2.0 Demo