An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering,MEMS入门教材

MEMs相关教材，ISBN 0-9616721-8-8

设计了一种应用于阵列式MEMS矢量水听器的水下信息采集系统，用于采集水声信号和水听器姿态信息；采集信息经编码后通过RS422接口输出。设计了一种低噪声前置放大电路来对模拟信号进行调理；对于时统信号和姿态信号，采用抽样判决进行消抖，保证了信号接收的准确性。将采集系统与水听器封装一体后进行了测试，结果表明，系统工作稳定，可准确采集水听器的水下信息。

横跨多重电子应用领域、的半导体供应商、世界的MEMS产品制造商、世界的消费电子及便携设备MEMS传感器供应商意法半导体（STMicroelectronics）日前发布了的高性能3轴MEMS加速度计LIS344AHH.新产品拥有达±18g的满量程、高带宽、低噪声、高机械稳定性和热稳定性，可提升游戏、用户界面和增强实境的用户体验，以及工业控制和碰撞监视的性能。 　　新产品的高带宽特性可实现高带宽数据速率，可连续地测量快速变化的加速度，增强工业控制、机器人设备和可穿戴式电子产品（例如，运动监视器）的性能。高数据速率结合低噪声操作和小幅位移监视功能，意法半导体的的加速度计使运动控制设备的性能变得更顺

对微机电系统进行了详细介绍

摔倒作为人体活动的一部分，是影响人体健康的一大因素，尤其对病人和老年人而言，摔倒检测至关重要。基于MEMS三轴加速度传感器采集的人体活动加速度信号，提出了一种基于固定阈值的信号幅度向量滑动平均法SVMSA。该方法根据人体活动时的加速度信号特征，利用预先设定的阈值对加速度信号幅度向量SVM的滑动平均SVMSA进行判决，同时使用差分信号幅度域 DSMA区分快速跑步等剧烈运动，准确实现了人体的摔倒检测。主要优势在于分析并区别了人体快速跑步等剧烈运动对摔倒检测的影响。通过对8位实验者的测试，该算法实现了94．4％

MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 　　MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样，MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。目前MEMS

该文档详细介绍了自动驾驶传感器mems激光雷达的产品原理，功能参数和使用方法。同时还介绍了如何配置硬件，点云采集与处理的全流程。

MEMS技术在光纤通信网络中的一个重要应用就是利用微动微镜制作光开关矩阵，微动微镜可以采用上下折叠方式、左右移动方式或旋转方式来实现开关的导通和断开功能。MEMS技术制作的光开关是将机械结构、微触动器和微光元件在同一衬底上集成，结构紧凑、重量轻，易于扩展。