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水汽
气氛磷扩散技术的高薄层电阻制备方法研究
针对光伏工业界对磷扩散薄层电阻不断提升的需求,采用了在磷扩散工艺气氛中增加
水汽
的方法进行磷源扩散制备高薄层电阻,并通过实验对比两种扩散气氛下的掺杂浓度,少子寿命等表征。实验结果表明:在相同薄层电阻条件下,
水汽
气氛下掺杂剂的表面浓度降低,耗尽层的复合率减小,间隙态的金属杂质浓度降低,硅基体的少子寿命从6.27μs提升至7.16μs。由于掺杂剂浓度分布得到改善,降低了硅片的表面复合率和结区光生载流子的俄歇复合,使得
水汽
气氛扩散后硅片制备的太阳电池,光电转换效率提升0.1%。
2021-01-29 11:13:19
1.29MB
磷扩散;
水汽;
多晶硅片;
转换效率
1
GrADS计算
水汽
通量
这是一个利用GrADS计算大气
水汽
通量的gs程序文件
2019-12-21 21:16:04
30KB
水汽通量
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