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双相调节和超宽带可调谐
微机电系统
谐振器的分析
针对单负载,垂直变形引起的传统MEMS(
微机电系统
)谐振器窄带和谐振频率固定的问题,提出了一种新型的具有超宽带,可调谐频率和基于垂直方向两级调节特性的MEMS谐振器。和水平负载。 建立了水平和垂直负载双级调节谐振器的微分方程,推导了两端锚定的谐振器的频率方程。 提出的谐振器的中心频率为17.7 MHz,两级范围分别为395480 ppm和16 ppm。
2021-03-02 17:05:04
1.45MB
Surface
acoustic
waves
Frequency-domain
1
微机电系统
基础 Foundation of MEMS
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基础 Foundation of MEMS
微机电系统
基础 Foundation of MEMS
2019-12-21 21:14:19
11.74MB
微机电
系统基础
MEMS
1
微机电系统
基础 第二版 中英文.rar
Chang Liu所著《Foundations of MEMS》第二版的中文和英文PDF。 中文由东南大学黄庆安教授翻译,扫描版,还算清晰;英文为高清版,文字可拷。 欢迎感兴趣的朋友下载。
2019-11-20 19:36:01
91.15MB
微机电系统
MEMS
第二版
foundations
1
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