ArF光刻机偏振照明系统中需要采用偏振器件(沃拉斯顿棱镜),根据传统技术选用在193 nm波长透明材料设计沃拉斯顿棱镜,其分束角较小,或者分束角大时棱镜较长。为了解决这些实际问题,利用折射定律分析推导了由正晶体构成沃拉斯顿棱镜的分束角公式,还分析推导了由两种正晶体构成沃拉斯顿棱镜的分束角公式。经过分析比较,由两种正晶体构成沃拉斯顿棱镜的分束角比由单一正晶体构成沃拉斯顿棱镜有较大的提高。设计了一种用于193 nm波长的分束角达到约10°的偏振分光沃拉斯顿棱镜,另外还设计了一种用于193 nm波长的仅仅输出一束线偏振光的沃拉斯顿棱镜。这两种棱镜采用两种正晶体制作,棱镜长度适中,有利于偏振照明系统装置整体的紧凑化。
2024-01-03 23:01:21 2.75MB 光学器件 石英晶体
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利用折射定律,介质膜两侧折射率不同时多光束干涉理论和菲涅耳公式,精确推导了双沃拉斯顿棱镜的光强分束比的具体表达式。以公式为基础,通过Matlab软件数值模拟作图分析光强分束比随入射角、入射波长和结构角的变化关系曲线。结果表明:在棱镜为介质胶合型时,光强分束比随入射角和入射波长的变化很小,光强分束比基本为1;棱镜为空气胶合型时,光强分束比随入射角,结构角和波长的变化很大。两种情况下,光强分束比随各参量的变化基本呈周期性变化。
2024-01-03 22:57:09 3.89MB 光学器件
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微电子器件原理(上)【哈工大威海】
2023-12-17 22:19:26 118.95MB 哈工大威海
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本文基于高性能FPGA(Altera的Stratix II系列)详细介绍了一种数字波束形成器(DBF)、动目标检测器(MTD)和恒虚警检测器(CFAR)的单芯片集成设计方案,最后对其性能特性和改进方向做了初步的分析讨论,以满足更高性能要求时的设计实现。
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本文旨在利用Volterra级数理论建立射频器件的行为模型。当考虑周期输入信号时,Volterra级数将呈现离散形式。 本文采用五阶非线性系统来推导Volterra级数展开式,该展开式可以表示频域中的直流项和谐波分量。 仿真表明,这种行为建模方法的性能良好,尤其是在使用更高阶的Volterra级数展开式时。 我们还得出结论,本文给出的方法对于小信号和大信号均有效。
2023-10-24 21:00:26 135KB Volterra series; behavioral model;
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J-STD-033D 潮湿、回流焊和工艺敏感器件的操作、包装、运输及使用要求(中英对照自译版)
2023-08-10 11:58:38 693KB ipc
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《光电子器件微波封装和测试》全书共12章,内容包括半导体激光器、光调制器和光探测器三种典型高速光电子器件的微波封装设计,网络分析仪扫频测试法、小信号功率测试法、光外差技术等小信号频率响应特性测试方法及测试系统校准方法,数字和模拟通信光电子器件大信号频率响应特性测试方法,光电子器件本征响应特性分析和应用,光谱与频谱分析技术,光注入技术及其应用。《光电子器件微波封装和测试》适合从事光电子器件教学与研究的科研工作者、工程技术人员、研究生和高年级本科生阅读和参考。   本书总结了作者多年来的工作经验和近期研究成果,系统地介绍了高速光电子器件测试和微波封装设计方面的实用技术,先进性、学术性和实用性兼备。全书共十-章,内容包括半导体激光器、光调制器和光探测器三种典型高速光电子器件的微波封装设计,网络分析仪扫频测试法、小信号功率测试法、光外差技术等小信号频率响应特性测试方法及测试系统校准方法,数字和模拟通信光电子器件大信号频率响应特性测试方法,光电子器件本征响应特性分析和应用,光谱与频谱分析技术的总结。
2023-07-29 14:01:08 27.42MB 测试测量
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包含了村田电容电容ADS的所有仿真模型。仿真工程师的最佳模型,避免花费大量时间去自己构造模型。
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静电放电(Electrostatic Discharge,ESD)是构成集成电路可靠性的主要因素之一,存在于生产到使用的每一个环节,并成为开发新一代工艺技术的难点之一,近年来,对ESD的研究也因而越来越受到重视,仿真工具在ESD领域的应用使得ESD防护的研究变得更为便利,可大幅缩短研发周期.   然而,由于ESD现象复杂的物理机制,极端的电场及温度条件,以及ESD仿真中频繁的不收敛现象,都使得FSD的仿真变得极为困难本文详细阐述了ESD的来源、造成的危害以及如何测试集成电路的防静电冲击能力,并基于 Sentaurus软件,对ESD防护器件展开了的分析、研究,内容包括   1)掌握ESD保护的基本理论、测试方法和防护机理 2)研究了工艺仿真流程的步骤以及网格定义在工艺仿真中的重要性,并对网格定义的方法进行了探讨 3)硏究了器件仿真流程以及器件仿真中的物理模型和模型函数,并对描述同一物理机制的的各种不同模型展开对比分析.主要包括传输方程模型、能帶模型、各种迁移率退化模型、雪崩离化模型和复合模型 4)研究了双极型晶体管和可控硅(Silicon Controlled rectifier,SCR)防护器件的仿真,并通过对仿真结果的分析,研究了ESD保护器件在ESD应力作用下的工作机理.
2023-07-05 10:04:25 4.97MB 静电放电ESD模拟
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可编程器件编程软件fastmap,(FM)语言编译工具,数字电路逻辑器件编程,GAL(读为“盖尔”)是一种随机逻辑器件,本软件可对gal进行编程。
2023-06-05 10:11:32 25KB Fastmap
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