铜互连双大马士革结构刻蚀清洗工艺中铜腐蚀失效机理及解决方案研究，姬峰，王英，本文针对后段铜互连工艺中出现的图形变异失效，通过物理结构分析确定失效模式为双大马士革结构一体化刻蚀后湿法清洗过程中的铜腐

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第八章光刻与刻蚀工艺，第八章光刻与刻蚀工艺课件，第八章光刻与刻蚀工艺PPT

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飞秒激光湿法刻蚀和微固态技术在石英玻璃中制造3D螺线管微线圈

具有曲线表面微结构的材料是微光学和生物医学装置的高度期望。 然而，有效地实现这样的设备在技术上仍然具有挑战性。 本文演示了一种简便灵活的方法来制造形状和尺寸可控的曲线形微结构。 该方法由飞秒激光曝光和氢氟酸溶液的化学蚀刻过程组成。 通过定点和步进式激光辐照，然后进行化学处理，在石英玻璃上制成了具有不同轮廓的凹形微结构，例如球形，圆锥形，钟形和抛物线形。 凸结构通过浇铸复制Craft.io复制到聚合物上。 在这项工作中，我们使用了这项技术来制造可用于3D细胞培养的高质量微透镜阵列和高纵横比微Kong。 这种方法具有许多优势，例如高效，可扩展的形状可控和易于操作。