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一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。
2023-07-25 14:23:48
763KB
谐振式;微流量传感器;电磁激励;低应力富硅氮化硅SiN;有限元耦合场仿真;微机电系统
1
LC谐振放大器 .doc
本设计以高频小信号LC谐振放大电路为核心,设计制作了振荡频率为15MHz的谐振放大器。系统第一部分输入信号通过 型电阻网络衰减电路实现信号衰减 的功能,同时完成电路阻抗匹配,使信号能够很好的传给下一级放大电路。综合考虑功耗、通频带、选择性噪声影响及工作稳定等因素,第二部分设计了两级高频小信号单调谐放大电路相串联来完成60dB的放大。每级高频小信号放大电路均采用分立元件搭建而成,使用三极管S9018作为高频放大管,谐振负载采用LC并联谐振回路。通过各个模块间的配合使用,实现了谐振频率达15MHz,上下偏差不超过100KHz,并且系统带宽为 ,带内波动不大于 ,同时又降低了整个系统的成本及提高了系统的可实现性。总的来说,本系统基本符合指标的要求。
2023-06-07 13:47:46
370KB
LC谐振放大器
1
LLC半桥谐振电感设计.pdf
LLC半桥谐振电感设计,硬件电源行业,设计基础,参考设计
2023-06-01 05:33:09
2.19MB
LLC
DIANYUAN
1
LLC谐振推导过程以及基本原理
LLC谐振推导过程以及基本原理,很经典的资料
2023-05-24 20:43:21
674KB
LLC谐振推导过程
1
LCC谐振电路仿真,电路参数已经调好,可直接使用
LCC谐振仿真,电路已经搭建好,已经调好参数,可以直接观察谐振波形,可根据需要改变器件参数
2023-05-03 15:54:13
35KB
matlab
simulink
LCC
1
弹光调制高压谐振电路设计
针对弹光调制需要高Q值、高电压、高稳定性驱动电路的特点,设计了一种基于LC谐振升压原理的高压驱动电路,该电路主要由输入波形转换电路、功率放大电路、充放电回路、阻抗匹配电路和反馈信号采集电路组成。采用低磁导率磁芯制作的高品质因数电感,使电路在输出高电压的同时,降低了对直流电源电压的要求。实验结果表明:在弹光调制干涉具谐振频率50.04 kHz下,谐振电路的输出电压在0~1200 VP-P可调,所需直流电源电压最大幅值为29 V。电路具有较强的带负载能力,可以满足弹光调制晶体的驱动需求。
2023-04-15 23:07:55
230KB
直流电源;弹光调制;高压驱动;晶体谐振
1
准谐振软开关反激变换器的研究
现代开关电源发展的一个重要方向是开关的高频化,因为高频化可以使开关变换器的体积、重量大大减小,从而提高变换器的功率密度。提高开关频率可以降低开关电源的音频噪声,改善动态响应。实现高频化,必须降低开关损耗,软开关技术是减少开关损耗的重要方法之一。软开关是指零电压开关(ZeroVoltageSwitching,ZVS)或零电流开关(ZeroCurrentSwitching,ZCS)。它应用谐振的原理使开关变换器中开关管的电压或电流按正弦或准正弦规律变化,当电压自然过零时,使器件开通;当电流自然过零时,使器件关断,实现开关损耗为零,从而可以使开关频率提高。
2023-04-09 00:57:15
156KB
开关|稳压
1
高频串联逆变器谐振极电容缓冲电路的研究
探讨了一种适合MHz级高频逆变器的无损谐振极电容缓冲器。详细分析了逆变器的换流过程,研究了不同谐振极电容值对器件关断损耗和总体损耗的影响,给出了设计方法。仿真和实验波形证明了理论分析的正确性。
2023-04-08 22:39:19
195KB
变频|逆变
1
PFC软开关技术在车载电池快速充电中的仿真研究
针对大规模电动汽车充电功率因数较低,谐波对电网污染严重,系统效率低、充电速度慢,不能满足电动汽车充电要求的特点,设计采用了一种前级带Boost-PFC的LLC谐振电源和后级为双向DC-DC的电路拓扑结构。针对功率因数低,采用单周期控制方法实现功率因数校正;利用在高频变压器副边添加电容和变压器漏感间的谐振,达到LLC谐振以减小开关损耗;采取正负脉冲双向DC-DC电路来加快充电速率。在Matlab和PSIM仿真验证了该设计能够实现电源变换电路开关元器件的零电压开通,且可以缩短充电时间,使网侧电流谐波畸变率小于5%,功率因数达到0.975。仿真验证了该设计在高功率因数和快速性方面达到了预期,对于汽车电池的应用有很好的效果。
2023-04-07 11:10:36
1.77MB
汽车电池;
正负脉冲快速充电;
单周期控制;
LLC谐振开关
1
LLC谐振变换器simulink仿真模型
CLLLC全桥谐振变换器及半桥LLC的simulink仿真模型
2023-04-07 10:00:41
98KB
LLC
CLLLC
1
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