TSUPREM-4基本命令介绍， 半导体工艺仿真工具TSUPREM-4(23)中文教程。

半导体相关工艺简介，主要是图示形式，包括主要特性、载流子、空穴、导电率、电阻率等等

本资源主要讲了TCAD仿真软件的安装及使用教程，对半导体工艺模型和具体器件进行模拟仿真

电子行业：半导体工艺技术 全产业链全景介绍，工艺介绍，装备介绍。

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SILVACO TCAD软件包被遍布全球的半导体厂家用于半导体器件和集成电路的研究、开发、测试和生产中。 SILVACO TCAD软件处于业界领导地位。

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芯片制造-半导体工艺制程实用教程第5版，芯片制造相关，一部介绍集成电路与工艺的书。

TSUPREM-4 is a computer program for simulating the processing steps used in the manufacture of silicon integrated circuits and discrete devices. TSUPREM-4 simulates the incorporation and redistribution of impurities in a two-dimensional (2-D) device cross-section perpendicular to the surface of the silicon wafer. The output information provided by the program includes: • Boundaries of the various layers of materials in the structure • Distribution of impurities within each layer • Stresses produced by oxidation, thermal cycling, or film deposition

Silvaco 产品覆盖了半导体产业相当广泛的领域，主要的产品有 TCAD、Analog/AMS/RF、 Custom IC CAD、Interconnect Modeling 和 Digital CAD。Silvaco TCAD 可以仿真半导体工艺 和器件特性，其主要的集成环境为 DeckBuild，工艺仿真组件、器件仿真组件以及可视化工 具等模块均可在 DeckBuild 界面灵活地调用。Silvaco TCAD 有 Linux 版本，也有 Windows 版本。在 Linux 版本下有更多的图形用户界面（GUI），方便用户选择参数，然后自动转化成 相应的语句，而 Windows 版本更多的是需要书写语句的。对于这两种方式每个人都会有自 己的喜好，但更一般倾向于图形化界面，作者在开始接触 Silvaco TCAD 的时候也是如此。 但图形化界面也有不足的地方，容易使人产生依赖，即用惯了图形化界面来选择参数就不会 特别在意语法的学习，而实际上图形界面只有一部分参数可供选择。尤其是在初学的时候， 如果导入一个例子，发现里面全是语句，使人茫茫然一头雾水。如果使用写语句的方式来组 织仿真则更有利于全面且透彻地理解和掌握，所以作者建议读者学习 Silvaco TCAD 的时候 从语法学习着手，本书即以 Windows 版本下的 Silvaco TCAD 作为学习的对象，但有时为了 说明的方便也会给出相应的图形界面。如果你使用的是 Linux 系统下的 Silvaco TCAD 版本， 不用担心，这只会对学习带来更大的帮助，因为语法是相通的。 这一章主要介绍 Silvaco TCAD 的基本框架，集成环境 DeckBuild，DeckBuild 的命令 “extract”、“go”、“set”和“Tonyplot”以及 Silvaco 文档的分布和学习方法等。