这是使用open cascade CAD引擎生成MEMS器件几何结构的示例代码
2023-03-13 22:28:42 137KB open_cad open open_cascade open_cascade_mems
目录0.前言1. MEMS加速度计2. MEMS陀螺仪3. MEMS磁强计4.参考资料 0.前言 本文根据HowToMechatronics1网站中的介绍MEMS加速度计、陀螺仪和磁强计的文章翻译和补充得来。 1. MEMS加速度计 1MEMS加速度计的原理简图如下图所示,其中质量块mass被弹簧springs支撑,使得其只能沿着预定方向位移,从而检测特定方向的加速度;绿的部分是固定的电极板Fixed plates。检测原理是当质量块感受到加速度时,会在相应方向产生位移,从而使得固定电极板构成的两个平行板电容器C1,C2的电容大小发生改变,检测其电容值大小即可换算成相应的加速度。
2023-03-08 10:04:03 59KB 加速 加速度 陀螺仪
1
论文简述了惯性导航系统的应用背景及发展状况,介绍了捷联惯导系统的基本原理,设计了基于DSP/FPGA的捷联惯导系统方案,实现了系统各部分硬件电路以及FPGA 功能模块,并通过搭建硬件验证平台和利用第三方仿真软件,对传感器的性能以及FPGA各功能模块进行了较全面的验证和仿真。结果表明:基于DSP厅PGA的捷联惯导系统能够满足应用的要求,并在小型化、低成本和高性能等方面有一定的优势。
2023-02-27 19:56:38 4.25MB 捷联惯导系统 FPGA dsp mems
1
支持GNSS/INS松组合解算 支持GNSS/INS/Camera融合解算 支持纯惯导推算 支持VIO解算,不过需要利用GNSS数据进行全局的初始化
2023-02-15 14:23:54 7.26MB imu sensor fusion
1
低成本MEMS惯导系统姿态、位置、速度更新算法的对比:在低成本MEMS惯导系统中,陀螺仪精度(零偏重复性)为0.1(°)/s量级,加速度计精度为5 mg量级。由于陀螺仪精度太低,无法敏感到地球自转信息,因而没有必要采用如4.1节所述的完整而复杂的捷联惯导更新算法,可对其作大幅简化。
2023-01-05 17:30:20 6.48MB 捷联惯导
1
MEMS气体传感器微热盘建模与仿真,张卫东,丁恩杰,本文设计了两种以Pt为加热电极,SiO2为绝缘层的MEMS气体传感器的微盘模型。通过有限元仿真分析了两种微热盘的稳态特性,加热温度达��
2023-01-04 10:56:37 308KB 微电子与固体电子学
1
欧姆龙 D6F-A1 MEMS流量传感器手册pdf,小型·高性能的为流量计测,±3F.S.的高精度,可不受温度、压力影响进行流量计测
2022-12-16 22:23:20 497KB 说明书
1
微电子机械系统(MEMS)综述.doc
2022-12-12 14:19:40 12.96MB
电容式传感器工作原理   电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图1所示。      图1 单电容式和差分电容式传感器   (a) 单电容传感器   (b) 差分电容传感器   图1(a)为两平行板组成的电容器,图1(b)为两平行板中间插入极板组成的差分电容传感。对图1(a)而言,当忽略电容器的边界效应时:   电容器的电容量为:       式中A为电容器的极板面积,d为极板的距离,er、e0为介电常数。   电容传感器中的变间隙式电容传感器的C-d特性如图2所示。      图2 变间隙式电容传感器的C-d特性曲线图   单电容传感器的一个极板固
1
[摘要]:MEMS(MicroElectromechanicalSystem,即[关键词]:MEMS压力传感器微型传感器微电子机械系统MEMS(Micro El
2022-12-06 11:34:57 227KB 传感器与数据采集
1