微机电（MEMS）陀螺仪的随机漂移误差较大，严重影响导航精度。针对上述问题，首先利用Allan方差分析了MEMS陀螺的随机漂移误差；然后基于小波阈值去噪算法处理陀螺信号的高频噪声，建立了硬阈值函数和软阈值函数，并通过两种函数对陀螺信号进行小波阈值去噪处理。实验结果表明：较之硬阈值函数，软阈值函数去噪效果更佳，去噪后信号标准差更低，量化噪声、角度随机游走和零偏不稳定性分别下降了97.34%、97.62%、57.07%。

摘要 传感器半导体技术的开发成果日益成为提高传感器集成度的一个典型途径，在很多情况下，为特殊用途的MEMS（微机电系统）类传感器提高集成度的奠定了坚实的基础。 本文介绍一个MEMS光热传感器的封装结构以及系统级封装（SIP）的组装细节，涉及一个基于半导体技术的红外传感器结构。传感器封装以及其与传感器芯片的物理交互作用，是影响系统整体性能的主要因素之一，本文将重点介绍这些物理要素。 本文探讨的封装结构是一个腔体栅格阵列（LGA）。所涉及材料的结构特性和物理特性必须与传感器的光学信号处理和内置专用集成电路（ASIC）控制器的电信号处理性能匹配。 从概念和设计角度看，专用有机衬底设计、模塑腔体结构和硅基红外滤光窗是所述光学传感器系统的主要特性。本文最后给出了传感器性能和光电表征测试报告，包括红外光窗尺寸不同的两种封装的FFOV（全视野）测试结果。 引言 如今，光热探测器被广泛用于体感检测、温度测量、人数统计和烟火探测等各种功能，覆盖建筑、安全、家电、工业和消费等多个市场。 光热探测器市场未来有五大增长点：便携式点测温、体感检测、智能建筑、暖通空调（HVAC）及其它媒介测温、人数

提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。

经典微制造教科书，讲解了微机械电子系统的很多内容，包括机械结构和微流体。

这是使用open cascade CAD引擎生成MEMS器件几何结构的示例代码

目录0.前言1. MEMS加速度计2. MEMS陀螺仪3. MEMS磁强计4.参考资料 0.前言 本文根据HowToMechatronics1网站中的介绍MEMS加速度计、陀螺仪和磁强计的文章翻译和补充得来。 1. MEMS加速度计 1MEMS加速度计的原理简图如下图所示，其中质量块mass被弹簧springs支撑，使得其只能沿着预定方向位移，从而检测特定方向的加速度；绿的部分是固定的电极板Fixed plates。检测原理是当质量块感受到加速度时，会在相应方向产生位移，从而使得固定电极板构成的两个平行板电容器C1，C2的电容大小发生改变，检测其电容值大小即可换算成相应的加速度。

论文简述了惯性导航系统的应用背景及发展状况，介绍了捷联惯导系统的基本原理，设计了基于DSP／FPGA的捷联惯导系统方案，实现了系统各部分硬件电路以及FPGA 功能模块，并通过搭建硬件验证平台和利用第三方仿真软件，对传感器的性能以及FPGA各功能模块进行了较全面的验证和仿真。结果表明：基于DSP厅PGA的捷联惯导系统能够满足应用的要求，并在小型化、低成本和高性能等方面有一定的优势。

支持GNSS/INS松组合解算 支持GNSS/INS/Camera融合解算 支持纯惯导推算 支持VIO解算，不过需要利用GNSS数据进行全局的初始化

低成本MEMS惯导系统姿态、位置、速度更新算法的对比：在低成本MEMS惯导系统中，陀螺仪精度（零偏重复性）为0.1（°）/s量级，加速度计精度为5 mg量级。由于陀螺仪精度太低，无法敏感到地球自转信息，因而没有必要采用如4.1节所述的完整而复杂的捷联惯导更新算法，可对其作大幅简化。

MEMS气体传感器微热盘建模与仿真，张卫东，丁恩杰，本文设计了两种以Pt为加热电极，SiO2为绝缘层的MEMS气体传感器的微盘模型。通过有限元仿真分析了两种微热盘的稳态特性，加热温度达��