如何利用Zemax进行MEMS设计,通过学习可以了解简单的zemax建模mems
2019-12-21 18:56:06 536KB zemax mems
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用ANSYS对MEMS仿真的例子
2019-12-21 18:50:46 4.87MB ANSYS_MEMS
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Chang Liu所著《Foundations of MEMS》第二版的中文和英文PDF。 中文由东南大学黄庆安教授翻译,扫描版,还算清晰;英文为高清版,文字可拷。 欢迎感兴趣的朋友下载。
2019-11-20 19:36:01 91.15MB 微机电系统 MEMS 第二版 foundations
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