梁德丰，钱省三，梁静（上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心，上海 200093）摘要：由于半导体制造工艺过程的复杂性，一般很难建立其制造模型，不能对工艺过程状态有效地监控，所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态，而SPC就是其中最重要的一种技术。本文针对SPC做了简要概述，着重论述了根据半导体生产工艺的特点来实现其在半导体晶圆厂的实际应用。 关键词：半导体；SPC；过程控制；控制图 中图分类号：TN301 文献标识码： A 文章编号：1003-353X(2004)03-0058-03 1 前言 近年来，半导体制造技术经历了快速的改变,技术的提升也相对地增加了工艺过程的

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有毒气体报警器工作原理:当环境空气正常时，气敏元件QM-2的相应电阻值，R3中的电阻，RW电压使555设定，3脚输出高电平，报警电路断开，没有报警。当气体传感器检测到气体，液化石油气，汽油，酒精，烟雾等有毒气体时，电压下降，电阻器R3，RW分压增加，从而555复位，引脚3输出低电平，使得继电器和开关上的报警电路，声光报警信号。 报警器功能模块:

全硬件协议栈以太网控制器W5500封装，包括原理图和PCB封装，PCB封装为LQFP48，7mm*7mm芯片，含3D模型，本人手绘

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