SEMI S2半导体制程设备安全准则 为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则。

SECS E30-1000,Generic model for communications and control of manufacturing equipment

Square wave control is also called 6 step control. Because In one electrical cycle there will be 6 switch status. Every switch status will generate a vector torque force which can drive the motor to rotate. In square wave control method, there are 2 key point to take control. One is the switch status which correspond with the motor rotor positions. We can get that from Hall sensor or Back EMF signals. The other one is the PWM driver duty which can control the torque force to target motor.

IBM 针对液晶生产MES软件及决方案的介绍

SECS/GEM E37中文手册，机器翻译非人工,可以拿来参考参考

计算机视觉Github开源论文

基于active-semi PAC52XX 的BLDC直流无刷电机驱动实例，含原理图板图

半监督文本分类的对抗训练方法 规范 此代码重现用 。 设置环境 请安装和 。 您可以使用此轻松设置环境。 下载预训练模型 请下载预先训练的模型。 $ wget http://sato-motoki.com/research/vat/imdb_pretrained_lm.model 结果 模型 错误率 基线 7.39 基准（我们的代码） 6.62 对抗性 6.21 对抗训练（我们的代码） 6.35 虚拟对抗训练 6.40 虚拟对抗训练 5.91 虚拟对抗训练（我们的代码） 5.82 跑 预训练 $ python -u pretrain.py -g 0 --layer

− 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE TRANSFER》(E4) − 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT》(E5) − 《GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT》(E30) − 《HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES GENERAL SESSION》(E37) − 《Standard for Processing Management》( E40) − 《Equipment Performance Tracking》(E116) − 《Specification For Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface》(E84) − 《Specification For Carrier Management(CMS)》(E87) − 《Specification For Control Job Management》(E94) − Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Service》(E39) − 应无人工厂的需求,买方公司部署AMHS自动上下货机器人,对应对于机台需要支持E84,E87的软硬件功能 − E4:串口点对点通信标准（底层） − E5:消息数据格式（设备状态，设备控制，物料，配方管理，异常处理等） − E30：基于E5 − E37：基于TCP/IP，代替E4 − E40：特定物料加工配方程序，定义行为标准 − E116：跟踪设备的状态与性能，提供诊断功能 − E84：物料运输的晶圆传送标准（通过AMHS），并行IO硬件通信接口 − E87：协调carrier进出设备管理标准（检验标识等） − E94：过程控制 − E39：定义数据结构，提供通用对象的读写服务

全中文 台灣工研院發表的文章 300mm是比較難完成的GEM 協定 給各位參考